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龙图腾网获悉北京信息科技大学申请的专利一种独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116625346B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310668551.4，技术领域涉及：G01C19/58；该发明授权一种独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺是由朴林华;刘珺宇;佟嘉程设计研发完成，并于2023-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺，该独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺包括敏感层、和盖板；敏感层上表面有两个加热器和两对热敏电阻，在敏感层下表面中心位置刻蚀有矩形凹槽；四个热敏电阻两两对称分布，分别分布于两个加热器两侧，一个加热器两侧的热敏电阻形成一个独立敏感单元，共两个独立敏感单元，用于敏感Z轴的角速度；盖板刻有空腔，与敏感层紧密相连形成一个密封的工作空间。本发明继承了MEMS热膨胀流陀螺的优点，结构紧密，体积小，重量轻，易于智能化和集成化。本发明采用独立敏感单元，使陀螺具有较高的灵敏度。本发明的敏感元件中无悬臂梁结构，具有良好的抗冲击性能、结构简单、成本极低、可靠性高等特点。

本发明授权一种独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺在权利要求书中公布了：1.一种独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺，其特征在于，包括敏感层、和盖板，其中， 所述敏感层上表面设置有两个加热器和两对热敏电阻，在敏感层下表面中心位置刻蚀有矩形凹槽； 定义所述敏感层的长宽方向分别为X，Y方向，敏感层的高度方向为Z方向；所述加热器分布于凹槽两侧，并与凹槽中心对称，与X轴垂直；所述热敏电阻放置方向与X方向垂直，四个热敏电阻两两对称分布，分别分布于两个加热器两侧，一个加热器两侧的热敏电阻形成一个无悬臂梁结构的独立敏感单元，共有两个独立敏感单元，用于检测Z轴的角速度； 所述加热器的两端沿着Y方向覆盖对称的电极，形成交替加热的热源; 所述敏感单元的热敏电阻的两端沿着X方向设置对称的电极； 两个加热器的通电方式为周期式推挽式通电，即加热器的一个工作周期包括脉冲电压激励时间与断电间隔时间； 所述加热器均由两个相同频率的方波信号驱动，相位差为90度，脉冲占空比为50％； 所述独立敏感单元的通电方式为恒流电； 所述盖板刻有空腔，与敏感层紧密相连形成一个密封的工作空间； 敏感层下表面凹槽与上盖空腔的深度为总的腔体的腔体高度为z,800μm≤z≤1500μm。

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