信越化学工业株式会社宫本滉平获国家专利权
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龙图腾网获悉信越化学工业株式会社申请的专利等离子体喷镀用浆料、喷镀膜的制造方法、氧化铝喷镀膜和喷镀构件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116635564B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180084117.0，技术领域涉及：C23C4/11；该发明授权等离子体喷镀用浆料、喷镀膜的制造方法、氧化铝喷镀膜和喷镀构件是由宫本滉平;高井康;中野瑞;西村龙星设计研发完成，并于2021-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体喷镀用浆料、喷镀膜的制造方法、氧化铝喷镀膜和喷镀构件在说明书摘要公布了：使用等离子体喷镀用浆料，采用等离子体喷镀来制造喷镀膜，所述等离子体喷镀用浆料含有20质量％以上且80质量％以下的最大粒径D100为15μm以下的氧化铝粒子，以选自水和有机溶剂中的1种或2种以上为分散介质，将700mL的所述等离子体喷镀用浆料放入高193mm的1L容器中并在室温下静置168小时后的上清液的透射率为90％以下。通过使用本发明的等离子体喷镀用浆料，能够在基材上稳定地形成气孔率低、并且具有充分的膜厚、单位体积的电阻的温度变化小的、包含氧化铝的喷镀膜，具备这样的喷镀膜的喷镀构件可用于静电卡盘。
本发明授权等离子体喷镀用浆料、喷镀膜的制造方法、氧化铝喷镀膜和喷镀构件在权利要求书中公布了：1.一种等离子体喷镀用浆料，其特征在于，含有20质量%以上且50质量%以下的最大粒径D100为12μm以下的氧化铝粒子，以选自水和有机溶剂中的1种或2种以上作为分散介质，将700mL的所述等离子体喷镀用浆料放入高193mm的1L容器中，在室温下静置168小时后的上清液的透射率为90%以下， 所述氧化铝粒子的平均粒径D50为2μm以上且8μm以下，所述氧化铝粒子的BET比表面积为3m2g以下。
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