山东浪潮华光光电子股份有限公司韩胜男获国家专利权
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龙图腾网获悉山东浪潮华光光电子股份有限公司申请的专利一种防止砷化镓基LED管芯异面电极切割污染的制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117305777B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311259639.7，技术领域涉及：C23C14/30；该发明授权一种防止砷化镓基LED管芯异面电极切割污染的制作方法是由韩胜男;郭建萍;吴向龙设计研发完成，并于2023-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防止砷化镓基LED管芯异面电极切割污染的制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种防止砷化镓基LED管芯异面电极切割污染的制作方法，属于半导体加工技术领域。方法步骤如下：1将减薄后的晶圆放到承载盘上，利用承载盘自带的压片压住晶圆；2在承载盘相对位置的托盘孔上分别安装弹簧夹，利用弹簧夹按压承载盘上的晶圆；3将承载盘和其下侧自带的行星架安置在蒸镀设备腔室中，转动行星架，确定晶圆安装稳固后，进行蒸镀作业。本发明通过单独设计的弹簧夹辅助承载盘按压晶圆，使用时只需要遮挡极小的面积，不会造成晶圆划伤，避免晶圆产生翘曲，减少晶圆蒸镀过程中污染情况，减少异面电极后漏电的情况。
本发明授权一种防止砷化镓基LED管芯异面电极切割污染的制作方法在权利要求书中公布了：1.一种防止砷化镓基LED管芯异面电极切割污染的制作方法，其特征在于，步骤如下： 1将减薄后的晶圆放到承载盘上，利用承载盘自带的压片压住晶圆； 2在承载盘相对位置的托盘孔上分别安装弹簧夹，利用弹簧夹按压承载盘上的晶圆； 弹簧夹包括主体，主体为螺旋状，主体顶部垂直设置有紧固杆，主体底部垂直设置有按压杆，按压杆为L型杆，L型杆顶部横位于主体上侧，L型杆顶部横杆向下倾斜，L型杆顶部横杆末端设置有弧形杆，弧形杆与紧固杆对向设置，弹簧夹材质为不锈钢钢丝，钢丝直径为700微米~1毫米，弹簧夹的主体直径为7毫米~1厘米； 3将承载盘和其下侧自带的行星架安置在蒸镀设备腔室中，转动行星架，确定晶圆安装稳固后，进行蒸镀作业。
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