东京毅力科创株式会社小森荣一获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利原料气体供给系统、粉末原料补充机构以及粉末原料补充方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117355633B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202280037391.7,技术领域涉及:C23C16/448;该发明授权原料气体供给系统、粉末原料补充机构以及粉末原料补充方法是由小森荣一设计研发完成,并于2022-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本原料气体供给系统、粉末原料补充机构以及粉末原料补充方法在说明书摘要公布了:在向处理装置供给通过气化装置使粉末原料气化而生成的原料气体的原料气体供给系统中对向气化装置供给粉末原料的粉末原料供给装置补充粉末原料的粉末原料补充机构具有:配管,该配管的一端连接于粉末原料供给装置;粉末原料盒,其填充有粉末原料;连接部,其设置于配管的另一端侧,粉末原料盒以能够装卸的方式连接于所述连接部;开闭部,其设置于配管的另一端侧,对配管与粉末原料盒之间进行开闭;以及真空排气部,其对配管内进行真空排气来将配管内保持为真空,其中,在通过真空排气部将配管内保持为真空的状态下,将粉末原料盒连接于连接部,通过在该状态下将开闭部打开来向粉末原料供给装置搬送粉末原料盒内的粉末原料。
本发明授权原料气体供给系统、粉末原料补充机构以及粉末原料补充方法在权利要求书中公布了:1.一种粉末原料补充机构,在向处理装置供给通过气化装置使粉末原料气化而生成的原料气体的原料气体供给系统中对向所述气化装置供给所述粉末原料的粉末原料供给装置补充所述粉末原料,所述粉末原料补充机构具有: 配管,所述配管的一端连接于所述粉末原料供给装置; 粉末原料盒,其填充有所述粉末原料; 连接部,其设置于所述配管的另一端侧,所述粉末原料盒以能够装卸的方式连接于所述连接部; 开闭部,其设置于所述配管的另一端侧,对所述配管与所述粉末原料盒之间进行开闭;以及 真空排气部,其对所述配管内进行真空排气来将所述配管内保持为真空, 其中,在通过所述真空排气部将所述配管内保持为真空的状态下,将所述粉末原料盒连接于所述连接部,通过在该状态下将所述开闭部打开来向所述粉末原料供给装置搬送所述粉末原料盒内的所述粉末原料, 其中,在所述粉末原料盒封入有由非活性气体构成的载气,所述粉末原料以被所述载气载带的方式被从所述粉末原料盒进行搬送。
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