先导薄膜材料(广东)有限公司徐祥炎获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种掺磷硒化镉靶材及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117623777B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311591643.3,技术领域涉及:C04B35/547;该发明授权一种掺磷硒化镉靶材及其制备方法是由徐祥炎;何廷帅;文崇斌;童培云设计研发完成,并于2023-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掺磷硒化镉靶材及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种掺磷硒化镉靶材及其制备方法,属于半导体材料技术领域,本发明将镉粉和红磷粉混合均匀,而后在特定的温度下经过两段加热保温处理,得到适用于制备掺磷硒化镉的磷化镉粉,而后将其与硒化镉粉混合均匀,放进真空热压炉中,在特定气压以及温度下经过两段加热保温处理,而后热压,最后冷却至室温,得到掺磷硒化镉靶材;所述的掺磷硒化镉靶材相对密度高,成分均匀,表面无缺陷,不存在气孔和白色斑点,同时所述的掺磷硒化镉靶材游离物和氧含量低。
本发明授权一种掺磷硒化镉靶材及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种掺磷硒化镉靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 1将镉粉和红磷粉混合均匀,得到混合粉体; 2将混合粉体放入管式炉中,升温至400~600℃,保温2~6h,粉碎,得到混合粉末; 3将混合粉末放入管式炉中,升温至400~500℃,保温2~4h,破碎,球磨,过100~325目筛,得到磷化镉粉; 4将磷化镉粉、硒化镉粉、活性剂混合均匀,得到前驱粉体; 5将前驱粉体放入真空热压炉中,抽真空,充入氮气使炉内气压稳定在25~40kPa,升温至400~600℃,保温0.5~2h,升温至650~720℃,保温0.5~2h; 6加压至真空热压炉压强为25~45MPa,保压0.5~2h; 7泄压,停止加热,冷却至室温,得到掺磷硒化镉靶材; 所述磷化镉粉、硒化镉粉的质量比为1:10~19。
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