先导薄膜材料(广东)有限公司黄妞获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种W-Y2O3-ZnO靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117644203B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311709383.5，技术领域涉及：B22F3/14；该发明授权一种W-Y2O3-ZnO靶材及其制备方法是由黄妞;文崇斌;谢小林;曾成亮;廖湘东设计研发完成，并于2023-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种W-Y2O3-ZnO靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请属于靶材生产技术领域，公开了一种W‑Y2O3‑ZnO靶材的制备方法，该方法先将钨粉、氧化钇粉、氧化锌粉按55～65：20～35：5～15的质量比混合，制得粉体，再将粉体投入真空热压炉并以5～10℃min的升温速率升温至1000～1500℃保温30～120min后，以2～5MPamin将环境压力升至20～40MPa并保温保压20～60min，随后降至室温并减压至标准大气压、机加工，得到W‑Y2O3‑ZnO靶材，所述步骤1中钨粉的粒径为2～30μm、氧化钇粉的粒径为10～20μm、氧化锌粉的粒径为10～20μm，本申请通过上述方法制得了一种具有高致密度的W‑Y2O3‑ZnO靶材，此外，本申请还公开了一种W‑Y2O3‑ZnO靶材。
本发明授权一种W-Y2O3-ZnO靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种W-Y2O3-ZnO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1：将钨粉、氧化钇粉、氧化锌粉按55～65：20～35：5～15的质量比混合，制得粉体； 步骤2：将步骤1制得粉体投入真空热压炉并以5～10℃min的升温速率升温至1000～1500℃保温30～120min后，以2～5MPamin将环境压力升至20～40MPa并保温保压20～60min，随后降至室温并减压至标准大气压、机加工，得到W-Y2O3-ZnO靶材； 所述步骤1中钨粉的粒径为2～30μm、氧化钇粉的粒径为10～20μm、氧化锌粉的粒径为10～20μm。
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