华海清科股份有限公司王宇获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利抛光头及化学机械抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117718878B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311845548.1，技术领域涉及：B24B37/11；该发明授权抛光头及化学机械抛光设备是由王宇;孟松林;马逸麟设计研发完成，并于2023-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本抛光头及化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种抛光头及化学机械抛光设备。抛光头包括：抛光头主体、弹性气膜、第一夹紧装置和第二夹紧装置，抛光头主体沿轴向上的一端形成有安装空间，弹性气膜设置在安装空间内，且弹性气膜形成侧膜和远离安装空间底部的底膜；第一夹紧装置与侧膜的内侧面接触，第二夹紧装置与侧膜的外侧面接触，第一夹紧装置和第二夹紧装置相互配合以夹紧侧膜，在夹紧侧膜的状态下，第一夹紧装置和第二夹紧装置均为环形结构，第一夹紧装置及第二夹紧装置的环形结构的周向尺寸均能够被调节，以调整弹性气膜的周向尺寸，改变抛光晶圆的边缘受力。本方案可以提高抛光头的兼容性。
本发明授权抛光头及化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种抛光头，用于化学机械抛光设备，其特征在于，包括： 抛光头主体、弹性气膜、第一夹紧装置和第二夹紧装置，所述抛光头主体的一端形成有安装空间，所述弹性气膜设置在所述安装空间内，且弹性气膜形成侧膜和远离所述安装空间底部的底膜； 所述第一夹紧装置与所述侧膜的内侧面接触，所述第二夹紧装置与所述侧膜的外侧面接触，所述第一夹紧装置和所述第二夹紧装置相互配合以夹紧所述侧膜； 在夹紧所述侧膜的状态下，所述第一夹紧装置和所述第二夹紧装置均为环形结构，并且，所述第一夹紧装置及所述第二夹紧装置的环形结构的周向尺寸均能够被调节，以调整弹性气膜的周向尺寸，改变抛光晶圆的边缘受力。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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