先导薄膜材料(广东)有限公司杨秀田获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种ITO废靶回收再制备靶材及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117776708B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311709072.9,技术领域涉及:C04B35/453;该发明授权一种ITO废靶回收再制备靶材及方法是由杨秀田;利镇升;谢小林;梁兆科;甘宇设计研发完成,并于2023-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种ITO废靶回收再制备靶材及方法在说明书摘要公布了:本申请属于靶材再回收利用技术领域,公开了一种ITO废靶回收再制备靶材的方法,该方法先将ITO废靶酸洗、加热蒸发、冷却、收粉,得到粉体,再将粉体与纯水混合、研磨,得到浆料一,其中粉体与纯水的质量比为0.4~0.6:1,随后向浆料一中加入粘合剂并搅拌,搅拌后得到浆料二,其中粘合剂的添加量与浆料一的质量比为2~5:100,最后将浆料二喷雾造粒、压制、烧结,得到ITO废靶回收再制备靶材,通过上述方法制备的ITO废靶回收再制备靶材在具有较低的开裂率的基础上,还具有较高的相对密度和电阻率,此外,本申请还公开了一种ITO废靶回收再制备靶材。
本发明授权一种ITO废靶回收再制备靶材及方法在权利要求书中公布了:1.一种ITO废靶回收再制备靶材的方法,其特征在于,包括如下步骤: 步骤1:将ITO废靶酸洗、加热蒸发、冷却、收粉,得到粉体; 步骤2:将步骤1制得的粉体与纯水混合、研磨,得到浆料一,其中粉体与纯水的质量比为0.4~0.6:1; 步骤3:向步骤2制得的浆料一中加入粘合剂并搅拌,搅拌后得到浆料二,其中粘合剂的添加量与浆料一的质量比为2~5:100; 步骤4:将步骤3制得的浆料二喷雾造粒、压制、烧结,得到ITO废靶回收再制备靶材; 所述步骤3中,粘合剂包括聚乙烯醇、聚丙烯酰胺、聚乙二醇,所述聚乙烯醇、聚丙烯酰胺、聚乙二醇的质量比为1~10:3~8:4~7; 所述ITO废靶中铟元素与锡元素的摩尔比为85~95:5~15。
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