先导薄膜材料(广东)有限公司罗斯诗获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种氧化锌铝靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117776709B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311738517.6，技术领域涉及：C04B35/453；该发明授权一种氧化锌铝靶材及其制备方法是由罗斯诗;李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇设计研发完成，并于2023-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化锌铝靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体技术领域，公开了一种氧化锌铝靶材的制备方法，包括如下步骤：步骤1：将氧化铝粉末、第一分散剂、水混合制浆并研磨，得到第一浆料；步骤2：将第一浆料、氧化锌粉末、第二分散剂混合制浆并研磨，得到第二浆料；步骤3：采用第二浆料喷雾造粒得到松装密度为0.8‑1gcm3的粉末；步骤4：将步骤3得到的粉末进行模压和冷等静压，得到氧化锌铝靶胚；步骤5：将氧化锌铝靶胚烧结得到氧化锌铝靶材。本发明通过控制喷雾造粒的粒径，制造出具有一定的松密度的粉末，可以不使用粘结剂一样可以制备出相对密度大、电阻率低的靶材。同时，本发明还提供了该氧化锌铝靶材。
本发明授权一种氧化锌铝靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化锌铝靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤1：将氧化铝粉末、第一分散剂、水混合制浆并研磨，得到第一浆料； 步骤2：将第一浆料、氧化锌粉末、第二分散剂混合制浆并研磨，得到第二浆料； 步骤3：采用第二浆料喷雾造粒得到松装密度为0.87-0.94gcm3的粉末； 步骤4：将步骤3得到的粉末进行模压和冷等静压，得到氧化锌铝靶坯； 步骤5：将氧化锌铝靶坯烧结得到氧化锌铝靶材； 所述氧化锌粉末、氧化铝粉末的质量比为96-98：2-4； 所述步骤3的喷雾造粒工艺为：采用喷雾干燥塔进行喷雾造粒，其中，出风温度为60-65℃，雾化器频率为70Hz； 所述步骤5的烧结参数为升温速率为2℃min，升温至1140~1200℃，保温10h。
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