先导薄膜材料(广东)有限公司罗斯诗获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种氧化锡铌靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117776711B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311730744.4，技术领域涉及：C04B35/457；该发明授权一种氧化锡铌靶材及其制备方法是由罗斯诗;李开杰;邵学亮;顾德盛;张兴宇设计研发完成，并于2023-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化锡铌靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体技术领域，公开了一种氧化锡铌靶材的制备方法，以氧化锡、氧化铌为原料制备氧化锡铌靶材；所述氧化铌为Nb2O5以及Nb2O4、Nb2O3中的至少一种。该方法采用了多种价态的氧化铌为原料，使最终产品中绝大部分为五价氧化铌以及少量的三价和四价氧化铌，可以提高产品的导电率。同时，本发明还提供了该氧化锡铌靶材。
本发明授权一种氧化锡铌靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种氧化锡铌靶材的制备方法，其特征在于，以氧化锡、氧化铌为原料制备氧化锡铌靶材；所述的方法具体为： 步骤1：将氧化铌和分散剂混合制浆并研磨，得到第一浆料； 步骤2：将氧化锡、分散剂加入到第一浆料中混合制浆并研磨，得到第二浆料； 步骤3：将粘结剂加入到第二浆料中混合并研磨，得到第三浆料； 步骤4：将第三浆料喷雾造粒，得到氧化锡掺杂氧化铌混合粉； 步骤5：将氧化锡掺杂氧化铌混合粉混料机中、在惰性气体保护下进行混料，得到混合粉； 步骤6：采用混合粉制备靶坯； 步骤7：将靶坯放入烧结炉中进行靶坯烧结； 所述氧化铌为Nb2O5、Nb2O4、Nb2O3的混合体；其中，Nb2O5、Nb2O4、Nb2O3的摩尔比为1：1.5～3：3.5～5； 所述烧结的具体操作为：将靶坯放入烧结炉中进行烧结，在真空条件下或惰性气体保护条件下，以升温速率在0.1-0.5℃min温度控制在400℃-600℃，保温时间6-12h后，以升温速率为0.5-1.5℃min，升温到1100-1600℃后保温8-12h； 在所述制备方法获得的靶材中，五价铌的含量为68%-80%。
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