华海清科(北京)科技有限公司;华海清科股份有限公司路新春获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科(北京)科技有限公司;华海清科股份有限公司申请的专利用于基板减薄设备的基板搬运系统、搬运设备、方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118305668B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410518934.8，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权用于基板减薄设备的基板搬运系统、搬运设备、方法是由路新春;赵德文;刘远航;靳凯强;刘殿生设计研发完成，并于2024-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于基板减薄设备的基板搬运系统、搬运设备、方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种用于基板减薄设备的基板搬运系统、搬运设备、方法,基板搬运系统，包括适配的保持部件、吸附装置和控制器；保持部件包括：同心设置的吸附垫、环形吸盘，保持部件包括通过吸附垫吸附基板的第一吸附模式，以及通过环形吸盘吸附基板的第二吸附模式；控制器用于控制保持部件和吸附装置执行如下步骤：令保持部件以第一吸附模式吸附基板，并移动基板至吸附装置的正对位置；令吸附装置吸附基板，以及令保持部件的吸附垫释放基板，以通过吸附装置带动基板移动并进行磨削；令保持部件通过第二吸附模式吸附基板，并令吸附装置释放磨削后的基板，以将磨削后的基板从吸附装置搬出并经过清洗单元。
本发明授权用于基板减薄设备的基板搬运系统、搬运设备、方法在权利要求书中公布了：1.一种用于基板减薄设备的基板搬运系统，其特征在于，包括适配的保持部件、吸附装置和控制器； 所述保持部件包括：同心设置的吸附垫、环形吸盘，吸附垫位于环形吸盘的中心，所述保持部件包括通过所述吸附垫吸附基板的第一吸附模式，以及通过所述环形吸盘吸附基板的第二吸附模式； 所述控制器用于控制所述保持部件和吸附装置执行如下步骤： 令所述保持部件以第一吸附模式吸附基板，并移动基板至所述吸附装置的正对位置； 控制搬运装置向所述吸附装置运动，以使得所述基板与所述吸附装置抵接； 令所述吸附装置吸附基板，以及令所述保持部件的吸附垫释放基板，以通过所述吸附装置带动基板移动并进行磨削； 令所述保持部件通过第二吸附模式吸附基板，并令所述吸附装置释放磨削后的基板，以将磨削后的基板从所述吸附装置搬出并经过清洗单元。
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