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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利抛光头压力检测设备、方法和用于晶圆加工的抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119036298B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411426609.5，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权抛光头压力检测设备、方法和用于晶圆加工的抛光设备是由杨易;温世乾;王宇;商勇超设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本抛光头压力检测设备、方法和用于晶圆加工的抛光设备在说明书摘要公布了：本发明提出了抛光头压力检测设备、方法和用于晶圆加工的抛光设备。所述抛光头压力检测设备包括：底座，所述底座的底面适于将所述抛光头压力检测设备放置于抛光设备的抛光转台，在所述底座的上表面提供有在一个分度圆或多个同心分度圆上均匀分布的传感器预留槽，所述传感器预留槽中用于放置压力传感器；以及上盖板，所述上盖板叠置于所述底座的上表面，并且适于压紧均布在至少一个分度圆上的所述压力传感器，在进行抛光头压力检测时，使用所述抛光设备的抛光头向下压紧所述上盖板。本申请的技术方案能够有效、准确地检测检测抛光头压力，为抛光头压力调节提供了准确的指导，有利于抛光头压力的准确调节，进而提高抛光设备的抛光效果。

本发明授权抛光头压力检测设备、方法和用于晶圆加工的抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种抛光头压力检测设备，其特征在于，包括： 底座，适于以其底面放置于抛光设备的抛光转台，在底座的上表面提供有在一个圆形轨迹或多个同心圆形轨迹上均匀分布的传感器预留槽，传感器预留槽中用于放置压力传感器；以及 上盖板，叠置于底座的上表面，并且适于压紧均布在至少一个圆形轨迹上的压力传感器； 抛光头压力检测设备配置成在抛光设备的抛光头向下压紧上盖板时经由压力传感器检测抛光头的压力； 上盖板包括圆环形盖板，圆环形盖板能够覆盖单个圆形轨迹上的传感器预留槽；圆环形盖板包括与抛光头的气膜区域适配的第一圆环形盖板和与抛光头的保持环区域适配的第二圆环形盖板，第一圆环形盖板的厚度大于第二圆环形盖板的厚度，厚度差值为一片晶圆的厚度；当测量气膜区域的压力时，仅盖上第一圆环形盖板，以单独量测气膜区域的压力；当测量保持环区域的压力时，仅盖上第二圆环形盖板以单独测量保持环区域的压力； 第一圆环形盖板由多个环形盖板组成，相邻圆环形盖板之间构成间隙，气膜区域被分为与多个环形盖板分别对应的独立环形分区，每个圆形轨迹上分布的压力传感器仅对其所在分区的压力进行测量，以实现对气膜区域压力测量的解耦。

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