本源量子计算科技(合肥)股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉本源量子计算科技(合肥)股份有限公司申请的专利表面氧化物的去除方法及量子电路的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120006295B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311544078.5,技术领域涉及:C23F4/00;该发明授权表面氧化物的去除方法及量子电路的制备方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;贾志龙设计研发完成,并于2023-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本表面氧化物的去除方法及量子电路的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种表面氧化物的去除方法及量子电路的制备方法,表面氧化物的去除方法,应用于超导金属薄膜,包括将设定气体电离,对电离后形成的离子加速,使所述离子与所述表面氧化物发生物理化学反应后形成所述离子与金属组成的第一化合物。本发明中设定气体经过电离形成的离子与所述表面氧化物发生物理化学反应后形成所述离子与金属组成的第一化合物,用该方法去除氧化物不会带来表面及侧壁额外损伤;不会影响表面粗糙度,不会带来额外的损耗通道。
本发明授权表面氧化物的去除方法及量子电路的制备方法在权利要求书中公布了:1.表面氧化物的去除方法,其特征在于,应用于超导金属薄膜,包括 使衬底保持常温; 将设定气体电离,对电离后形成的离子加速,使所述离子与所述表面氧化物发生物理化学反应后形成所述离子与金属组成的第一化合物; 对所述表面氧化物的去除深度不超过所述表面氧化物的厚度,所述表面氧化物的厚度与去除深度之差小于2nm。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人本源量子计算科技(合肥)股份有限公司,其通讯地址为:230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期E2楼六层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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