买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉埃克斯控股(北京)有限公司申请的专利半导体晶圆生产缺陷检测方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120782781B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511299278.8，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权半导体晶圆生产缺陷检测方法、装置、设备及存储介质是由傅慧初;刘静;梁少阳;刘斌;李杰设计研发完成，并于2025-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体晶圆生产缺陷检测方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体领域，公开了半导体晶圆生产缺陷检测方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：首先获取待检测半导体晶圆生产图片并输入当前目标检测模型，输出缺陷类型和缺陷概率，若缺陷概率低于检测成功阈值，标记为低置信度样本存入预备优化数据库，低置信度样本预标注后获取与低置信度样本对应的修正样本，当修正样本量超过预设训练数据量时，构建优化训练集对当前模型优化训练，得到优化检测模型，随后用测试数据评估其是否合格，合格则替代当前模型，最后将新图片输入优化模型，输出对应的缺陷类型和概率，使用持续迭代优化的检测模型检测待检测半导体晶圆的生产缺陷，能够提高缺陷识别准确性。

本发明授权半导体晶圆生产缺陷检测方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆生产缺陷检测方法，其特征在于，所述半导体晶圆生产缺陷检测方法包括： 获取待检测半导体晶圆生产图片，将待检测半导体晶圆生产图片输入当前目标检测模型，以得到待检测半导体晶圆生产图片对应的缺陷类型和缺陷概率； 当待检测半导体晶圆生产图片对应的缺陷概率低于检测成功阈值时，将待检测半导体晶圆生产图片标记为低置信度样本，并将所述低置信度样本保存至预构建的预备优化数据库中； 对所述低置信度样本进行预标注，得到预标注样本，并根据所述预标注样本获取对应的修正样本，并将所述修正样本保存至预备优化数据库中； 定期计算所述修正样本的数量，当所述修正样本的数量大于预设训练数据量时，使用所述修正样本构建优化训练集； 使用所述优化训练集对当前目标检测模型进行优化训练，得到优化检测模型，并获取测试数据，使用所述测试数据对所述优化检测模型进行测试，并根据测试结果判断所述优化检测模型是否合格； 当判定所述优化检测模型合格时，则使用所述优化检测模型替代当前目标检测模型； 所述对所述低置信度样本进行预标注，得到预标注样本，包括：使用上一版本的目标检测模型作为标注模型，对低置信度样本进行预标注，得到预标注样本； 所述定期计算所述修正样本的数量，当所述修正样本的数量大于预设训练数据量时，使用所述修正样本构建优化训练集，包括：定期计算所述修正样本的数量，当所述修正样本的数量大于预设训练数据量时，计算每个缺陷类别的修正样本的数量，当每个缺陷类别的修正样本的数量大于该类别对应的类别阈值时，剔除所述修正样本中的重复样本，得到清洗后修正样本；对所述清洗后修正样本进行数据增强，得到增强样本；根据所述增强样本构建优化训练集； 使用优化训练集对当前目标检测模型进行优化训练时，采用训练平台GPU集群作为训练平台，每轮迭代中，当前目标检测模型通过前向传播计算增强样本的预测结果，并基于FocalLoss计算预测值与修正样本标注值的误差；利用GPU集群的并行计算能力，通过反向传播快速更新当前目标检测模型的关键参数，以优化对低置信度样本中缺陷特征的提取能力。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人埃克斯控股(北京)有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣华南路2号院5号楼21层2101B室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。