江苏先科半导体新材料有限公司林昊升获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏先科半导体新材料有限公司申请的专利一种用于深紫外光刻胶树脂溶液固体含量的精密检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120801691B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511131739.0，技术领域涉及：G01N33/44；该发明授权一种用于深紫外光刻胶树脂溶液固体含量的精密检测方法是由林昊升;万曹阳;兰晓雨;汤宇光设计研发完成，并于2025-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于深紫外光刻胶树脂溶液固体含量的精密检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于深紫外光刻胶树脂溶液固体含量的精密检测方法，属于精密检测技术领域。该方法具体包括以下步骤：1TGA热分解参数设置；2碳谱组成比测定；3分解重量系数计算。本发明解决了ESCAP树脂溶液固体含量测定偏差大的问题，实现了ESCAP类易分解树脂溶液固体含量的精确测量，PHS‑EVE、PHS‑tBOC类树脂同样有显著分解，所以该方法同样适用于此类树脂。
本发明授权一种用于深紫外光刻胶树脂溶液固体含量的精密检测方法在权利要求书中公布了：1.一种用于深紫外光刻胶树脂溶液固体含量的精密检测方法，其特征在于，具体包括以下步骤： 1TGA热分解 温度程序：以10℃min升温至220℃，并恒温2h； 重量监测：记录各阶段重量损失及每分钟重量损失比例； 2碳谱组成比测定 样品预处理：将树脂固体完全溶解于氘代溶剂，加入顺磁弛豫试剂，采用反转门控去耦，延长弛豫延迟时间T1=5s，扫描次数2048次； 定量分析：通过积分碳谱谱峰面积，确定各单体对应的碳信号比例，建立组成比数据； 3分解重量系数计算 分解重量系数：根据组成比，结合各单体的分子量及热分解后产物分子量，计算分解重量系数，根据TGA分解后固含×分解重量系数得到深紫外光刻胶树脂溶液的固体含量。
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