大连理工大学闫英获国家专利权
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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种基于夹套与螺旋导流结构的可控温气氛旋涂腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121017041B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511450872.2，技术领域涉及：B05C11/08；该发明授权一种基于夹套与螺旋导流结构的可控温气氛旋涂腔室是由闫英;张宏福;郭东明;万佳奇;方子铿设计研发完成，并于2025-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于夹套与螺旋导流结构的可控温气氛旋涂腔室在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于夹套与螺旋导流结构的可控温气氛旋涂腔室，包括同步腔室模块、基底承载台和旋转台；所述同步腔室模块、基底承载台和旋转台为同心结构；所述同步腔室模块安装在基底承载台上，所述基底承载台安装在旋转台上。本发明通过在旋涂腔室侧壁设置铝合金材料的夹套结构并引入控温气体在夹套内部循环流动，实现对腔室内温度的有效调控，保证了腔室内部流场的温度均匀性，从而提高溶剂挥发均匀性。本发明在腔室内壁设置螺旋导流结构，引导腔室内气流沿着稳定且规律的路径旋转，有效的削弱了方形基板导致的流场扰动，改善了流场分布的对称性，保证了腔室内部流场的速度均匀性。本发明有效的降低了旋涂过程中的膜厚差异，提高了膜厚均匀性。
本发明授权一种基于夹套与螺旋导流结构的可控温气氛旋涂腔室在权利要求书中公布了：1.一种基于夹套与螺旋导流结构的可控温气氛旋涂腔室，其特征在于：包括同步腔室模块1、基底承载台3和旋转台4；所述同步腔室模块1、基底承载台3和旋转台4为同心结构；所述同步腔室模块1安装在基底承载台3上，所述基底承载台3安装在旋转台4上； 所述同步腔室模块1为夹套结构，所述夹套结构的材料为铝合金材料； 所述同步腔室模块1从内到外由夹套内层13、夹套中层14和夹套外层16组成，所述夹套内层13和夹套中层14、夹套中层14和夹套外层16之间构成内外两层空腔结构；所述夹套中层14的底部设置夹套通气孔15；所述夹套通气孔15连通内外两层空腔结构；所述空腔结构的内层与温控气体入口10连通；所述空腔结构外层与温控气体出口11连通； 所述同步腔室模块1的夹套内层13朝向腔室内部的表面上设计螺旋导流结构12。
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