同济大学伊圣振获国家专利权
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龙图腾网获悉同济大学申请的专利一种用于极紫外共轴光学系统的桌面型装调平台及其方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121541387B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610071004.1,技术领域涉及:G02B27/62;该发明授权一种用于极紫外共轴光学系统的桌面型装调平台及其方法是由伊圣振;司昊轩;张哲;余永波;王占山设计研发完成,并于2026-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于极紫外共轴光学系统的桌面型装调平台及其方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于极紫外共轴光学系统的桌面型装调平台及其方法,属于光学系统精密装调装置领域,装调平台包括光电自准直仪、电动转台、图像采集模块、光源以及镜组调节机构,光电自准直仪的光轴与电动转台的转轴重合,并作为装调平台的基准轴,电动转台固定在光学平台上,电动转台表面固定有平面反光镜,光电自准直仪设置在平面反光镜一侧,图像采集模块设置在平面反光镜和光电自准直仪之间。传统装调方案适用的光学系统有限,且缺乏灵活性、集成性,而本发明采用上述的装调平台为功能完备的独立系统,集成光路校准、姿态调控与图像分析单元,无需外置辅助设备,能根据待装调光学系统的口径与物像关系灵活布局,实现快速适应性精密装调。
本发明授权一种用于极紫外共轴光学系统的桌面型装调平台及其方法在权利要求书中公布了:1.一种用于极紫外共轴光学系统的桌面型装调平台,其特征在于:包括光电自准直仪、电动转台、图像采集模块、光源以及镜组调节机构,光电自准直仪的光轴与电动转台的转轴重合,并作为装调平台的基准轴,电动转台固定在光学平台上,电动转台表面固定有平面反光镜,光电自准直仪设置在平面反光镜一侧,图像采集模块设置在平面反光镜和光电自准直仪之间,光源位于基准轴上的目标物距处,镜组调节机构与电动转台表面固定连接,随电动转台共同稳定转动; 装调平台的基准轴通过自准直的装调方式建立,包括以下步骤: S1、固定电动转台,在电动转台表面安装平面反光镜,平面反光镜表面刻有用于指示转台中心的标识点,且平面反光镜反光面与电动转台安装面平行; S2、将光电自准直仪调焦至第一工作距,使光电自准直仪出射准直光,调节光电自准直仪的俯仰与偏摆角度,使光电自准直仪接收到的和由平面反光镜反射回的十字叉丝像,与光电自准直仪内置的参考十字叉丝重合; S3、将光电自准直仪调焦至第二工作距,使光电自准直仪清晰成像在平面反光镜表面,调节光电自准直仪的横向与垂向位置,使平面反光镜表面的标识点像与光电自准直仪内置的参考十字叉丝重合; S4、旋转电动转台一周,并将光电自准直仪的工作距在第一工作距和第二工作距之间交替切换,微调光电自准直仪姿态与位置,直至在任意转角下,平面反光镜反射回的十字叉丝像与光电自准直仪表面标识点像分别始终与参考十字叉丝重合,此时光电自准直仪的光轴与电动转台转轴重合,由此装调平台的基准轴建立完毕。
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