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龙图腾网获悉河南锐石超硬新材料有限公司;中科粉研(河南)超硬材料有限公司;锐石新材料科技股份有限公司申请的专利一种金刚石衬底切割设备及切割方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121650130B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610169917.7，技术领域涉及：B28D5/02；该发明授权一种金刚石衬底切割设备及切割方法是由冯建伟;李小岚;智程琳设计研发完成，并于2026-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种金刚石衬底切割设备及切割方法在说明书摘要公布了：本发明属于半导体加工技术领域，具体的说是一种金刚石衬底切割设备及切割方法，包括安装架、切割部件、高度调节部件、进给部件、安装部件和转动部件；本发明通过控制器控制金刚石衬底覆盖的真空吸盘控制阀打开，进而使得覆盖的真空腔通过负压吸附固定金刚石衬底，随后控制器控制高度调节部件调节切割刀片的竖直高度，控制器控制切割电机转动同时控制进给部件带动切割刀片对下方的金刚石衬底进行切割，待该道切割完成后进给部件停止，控制器控制转动部件带动安装部件上的金刚石衬底转动到下一道切割位置，重复以上操作实现对金刚石衬底上要求的所有切割位置进行切割，进而实现对金刚石衬底的自动切割，进而提高了金刚石衬底的切割效率。

本发明授权一种金刚石衬底切割设备及切割方法在权利要求书中公布了：1.一种金刚石衬底切割设备，其特征在于：包括安装架1、切割部件2、高度调节部件3、进给部件4、安装部件5和转动部件6；所述安装架1上端设置用于承载所述高度调节部件3横向移动的所述进给部件4；所述高度调节部件3用于承载所述切割部件2进行上下移动；所述切割部件2包括切割刀片21和切割电机22；所述切割电机22横置固定连接在所述高度调节部件3下方；所述切割电机22的输出轴端部设置所述切割刀片21；所述切割部件2的下方设置用于安装固定待切割零件的所述安装部件5；所述安装部件5包括真空吸盘51；所述真空吸盘51内部设置层层套环的真空腔510；每个所述真空腔510单独连接控制阀控制抽真空；所述安装部件5下方设置用于承载所述安装部件5转动的所述转动部件6；所述转动部件6连接在所述安装架1上； 金刚石衬底切割设备还包括清除部件7；所述清除部件7包括吹屑单元71和切屑收集单元72；所述吹屑单元71设置在所述切割刀片21一侧；所述切屑收集单元72设置在所述切割刀片21的另一侧； 所述安装部件5还包括定位机构；所述定位机构包括定位杆52、导向槽53、驱动槽盘54、第一齿圈55、第一齿轮56和定位电机57；所述真空吸盘51上沿径向均匀间隔开设一组腰形槽；所述真空吸盘51下方对应所述腰形槽的位置设置所述导向槽53；所述定位杆52上端从所述腰形槽内伸出，所述定位杆52下端设置滑动部521；所述滑动部521滑动连接在所述导向槽53内；所述定位杆52的下端端部插接在所述驱动槽盘54上的弧形槽内；所述驱动槽盘54转动连接在所述真空吸盘51下方的固定柱511上；所述驱动槽盘54下方固定连接所述第一齿圈55；与所述第一齿圈55啮合的所述第一齿轮56连接在所述定位电机57的输出轴上；所述定位电机57固定连接在与所述固定柱511固定连接的固定板512上； 所述切屑收集单元72包括粘黏布721、输送辊722、输送电机723、刮除盒724、清洗箱725和风干气嘴726；所述粘黏布721上设置硅基压敏胶；所述粘黏布721通过多个输送辊722支撑传动；所述输送电机723驱动其中一个输送辊722转动；靠近所述切割刀片21的所述粘黏布721倾斜设置；所述粘黏布721的移动方向上依次经过所述刮除盒724、所述清洗箱725和所述风干气嘴726；所述刮除盒724一侧边与所述粘黏布721接触；所述粘黏布721在经过所述清洗箱725处需浸没其中；所述清洗箱725采用超声波的方式清洗；所述风干气嘴726用于对清洗后的所述粘黏布721进行连续吹气风干； 靠近所述切割刀片21的所述粘黏布721通过缓冲架支撑连接；所述缓冲架支撑包括摆动杆727、转动杆和弹性件728；所述摆动杆727一端铰接在用于安装所述输送辊722的安装支板上；所述摆动杆727一端与所述安装支板之间设置所述弹性件728；所述摆动杆727的另一端转动连接所述转动杆；所述粘黏布721绕过所述转动杆。

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