天水天光半导体有限责任公司马德豪获国家专利权
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龙图腾网获悉天水天光半导体有限责任公司申请的专利磷扩散尾气处理系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224100379U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520831577.0，技术领域涉及：B01D53/78；该实用新型磷扩散尾气处理系统是由马德豪;程丽娟;柳旭;吴斌;王昭;李文军;范志为设计研发完成，并于2025-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本磷扩散尾气处理系统在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种磷扩散尾气处理系统，涉及环保技术领域，其包括混合冷却箱、抽风管、喷淋机构和储水箱。混合冷却箱设置有第一进风口、第二进风口和第一出风口。第一进风口用于连通扩散炉的排气口，第二进风口用于将外部空气导入混合冷却箱内，第一出风口连通抽风管。喷淋机构安装于抽风管，喷淋机构的出水口位于抽风管的与第一出风口连通的位置的上方。储水箱连通抽风管的底端。该处理系统能够有效处理磷扩散过程中会产生含有三氯氧磷的尾气，排放的气体不易污染环境，也不易对扩散炉设备造成腐蚀，不易影响生产效率和产品质量。
本实用新型磷扩散尾气处理系统在权利要求书中公布了：1.一种磷扩散尾气处理系统，其特征在于，包括： 混合冷却箱100、抽风管200、喷淋机构300和储水箱400；所述混合冷却箱100设置有第一进风口101、第二进风口102和第一出风口103，所述第一进风口101用于连通扩散炉001的排气口，所述第二进风口102用于将外部空气导入所述混合冷却箱100内，所述第一出风口103连通所述抽风管200；所述喷淋机构300安装于所述抽风管200，所述喷淋机构300的出水口位于所述抽风管200的与所述第一出风口103连通的位置的上方；所述储水箱400连通所述抽风管200的底端。
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