苏试宜特(深圳)检测技术有限公司刘晋平获国家专利权
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龙图腾网获悉苏试宜特(深圳)检测技术有限公司申请的专利芯片研磨治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224102663U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520272199.7,技术领域涉及:B24B37/27;该实用新型芯片研磨治具是由刘晋平;杜学军;刘宁;蒙夏萍;何卓飞设计研发完成,并于2025-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本芯片研磨治具在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种芯片研磨治具,通过在至少一个平坦的治具主体表面上设置芯片固定凹槽,且芯片固定凹槽的宽度与待研磨减薄的芯片的平面尺寸适配,以使芯片可以沿水平方向固定于治具的芯片固定凹槽内,使得大量相同尺寸规格的样品在研磨时能够保持一致的研磨质量,且芯片装载和卸载方便,操作便利。此外,通过设置芯片固定凹槽的深度等于芯片研磨减薄的目标厚度,在使用该治具对芯片进行研磨减薄时,将芯片的正面固定于芯片固定凹槽内,从而使芯片背面的部分衬底凸出于治具主体的表面,然后手持该治具并将其按压在研磨机上进行研磨,直至经过研磨的芯片背面与芯片主体的表面齐平,使得研磨过程能够精确控制,避免过度研磨或研磨不足。
本实用新型芯片研磨治具在权利要求书中公布了:1.一种芯片研磨治具,其特征在于:所述治具包括治具主体,所述治具主体包括若干个平坦的表面,其中至少一个平坦的所述表面上设置有芯片固定凹槽,所述芯片固定凹槽的宽度与待研磨减薄的芯片的平面尺寸适配,所述芯片固定凹槽的深度等于所述芯片研磨减薄的目标厚度。
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