渠梁电子有限公司张雪健获国家专利权
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龙图腾网获悉渠梁电子有限公司申请的专利一种晶圆传输装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224111604U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520755703.9，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种晶圆传输装置是由张雪健;李大林设计研发完成，并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传输装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种晶圆传输装置，能够量测承载在工作平台上的晶圆的翘曲高度和翘曲刚性，包括：传输手臂和支架，传输手臂位于工作平台的上方，传输手臂用于传输晶圆至工作平台上，支架与传输手臂固定连接；第一按压部和第二按压部位于工作平台上方，第一按压部和第二按压部用于将晶圆平整地按压在工作平台上，第一按压部设置在传输手臂底部，第二按压部设置在支架底部，并且第二按压部的内径大于第一按压部的外径；其中，第二按压部设有多组用于测量晶圆翘曲刚性的压力传感器和用于测量晶圆翘曲高度的距离传感器。本实用新型具有以下优点：可以在封装过程中自动量测晶圆翘曲的高度和刚性，同时解决晶圆因翘曲无法与工作平台建立真空的问题。
本实用新型一种晶圆传输装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输装置，能够量测承载在工作平台上晶圆的翘曲高度和翘曲刚性，其特征在于，包括： 传输手臂和支架，所述传输手臂位于所述工作平台的上方，所述传输手臂用于传输所述晶圆至所述工作平台上，所述支架与传输手臂连接； 第一按压部和第二按压部，所述第一按压部和第二按压部位于所述工作平台上方，所述第一按压部和第二按压部用于将所述晶圆平整地按压在所述工作平台上，所述第一按压部设置在所述传输手臂底部，所述第二按压部设置在所述支架底部，并且所述第二按压部的内径大于所述第一按压部的外径； 其中，所述第二按压部设有多组用于测量所述晶圆翘曲刚性的压力传感器和用于测量所述晶圆翘曲高度的距离传感器。
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