中微半导体设备(上海)股份有限公司叶如彬获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种升举顶针组件及等离子体反应装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115497866B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110679258.9，技术领域涉及：H10P72/72；该发明授权一种升举顶针组件及等离子体反应装置是由叶如彬;吴昊设计研发完成，并于2021-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种升举顶针组件及等离子体反应装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种升举顶针组件，用于一真空反应腔内，所述真空反应腔内包含基座和静电吸盘，基座上的各个通孔与静电吸盘上对应的通孔形成竖直方向的通道，所述升举顶针组件包含：升举顶针，用于穿过对应的通道托举晶圆，实现晶圆与静电吸盘表面的分离；套筒，固定连接设置在基座下方，并与升举顶针所在的通道位置对应；第一法兰，设置在套筒内并与套筒间隙配合，升举顶针的底部固定连接所述第一法兰；通过驱动装置驱动第一法兰在套筒内上下运动；若干个导电的弹性装置，所述弹性装置弹性连接设置在第一法兰外壁与套筒内壁之间，实现第一法兰与套筒等电势。本发明还提供一种等离子体反应装置。本发明的升举顶针组件能够防止在射频环境下放电打火。
本发明授权一种升举顶针组件及等离子体反应装置在权利要求书中公布了：1.一种升举顶针组件，用于一真空反应腔内，所述真空反应腔内包含基座，所述基座的上方设有用于放置晶圆的静电吸盘，基座和静电吸盘都设有若干通孔，基座上的各个通孔与静电吸盘上对应的通孔形成竖直方向的通道，其特征在于，所述升举顶针组件包含： 升举顶针，用于穿过对应的通道托举晶圆，实现晶圆与静电吸盘表面的分离； 套筒，固定连接设置在基座下方，并与升举顶针所在的通道位置对应； 第一法兰，设置在套筒内并与套筒间隙配合，升举顶针的底部固定连接所述第一法兰；通过一驱动装置驱动第一法兰在套筒内上下运动； 若干个导电的弹性装置，分布在第一法兰两侧；所述弹性装置弹性连接设置在第一法兰外壁与套筒内壁之间，实现第一法兰与套筒等电势；所述第一法兰上下运动时，所述弹性装置滑动连接或滚动连接所述第一法兰。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中微半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励