英飞凌科技股份有限公司D·海斯获国家专利权
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龙图腾网获悉英飞凌科技股份有限公司申请的专利具有自对准的加热器和RF端子的相变开关获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115498103B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210690475.2，技术领域涉及：H10N70/00；该发明授权具有自对准的加热器和RF端子的相变开关是由D·海斯;C·卡多;M·马克特设计研发完成，并于2022-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有自对准的加热器和RF端子的相变开关在说明书摘要公布了：公开了一种形成相变开关装置的方法，所述方法包括：提供衬底；在衬底上形成第一和第二RF端子；在衬底上形成连接在第一和第二RF端子之间的相变材料条；形成与所述相变材料条相邻的加热元件，使得加热元件被配置为控制相变材料条的导电状态。第一和第二RF端子以及加热元件通过光刻工艺形成，该光刻工艺使加热元件与第一和第二RF端子自对准。
本发明授权具有自对准的加热器和RF端子的相变开关在权利要求书中公布了：1.一种形成相变开关装置的方法，所述方法包括： 提供衬底； 在所述衬底上形成第一RF端子和第二RF端子； 在所述衬底上形成连接在所述第一RF端子和所述第二RF端子之间的相变材料条；以及 形成与所述相变材料条相邻的加热元件，使得所述加热元件被配置为控制所述相变材料条的导电状态， 其中，所述第一RF端子和所述第二RF端子以及所述加热元件通过光刻工艺形成，所述光刻工艺将所述加热元件与所述第一RF端子和所述第二RF端子自对准，并且其中，所述光刻工艺包括： 在所述衬底上形成电绝缘材料区域； 在所述电绝缘材料区域中形成第一沟槽和第二沟槽； 在所述第一沟槽和所述第二沟槽中分别形成所述第一RF端子和所述第二RF端子； 在所述电绝缘材料区域中形成第三沟槽；以及 在所述第三沟槽中形成所述加热元件。
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