扬州嘉辉新能源有限公司吴彬辉获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州嘉辉新能源有限公司申请的专利一种多晶硅定向凝固方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115637493B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211429095.X,技术领域涉及:C30B28/06;该发明授权一种多晶硅定向凝固方法是由吴彬辉设计研发完成,并于2022-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多晶硅定向凝固方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种多晶硅定向凝固方法,它解决了多晶硅内部晶胞错位等问题,其包括如下步骤:S1:单晶硅片酸洗除杂后置入坩埚,之后放入熔化炉内加热熔化并保持静置;S2:坩埚底部快速降温使得底部硅液快速凝结;S3:坩埚下拉使得硅液匀速结晶;S4:吹风装置启动,硅锭温度急速下降;S4:熔化炉升温并保持温度恒定,之后温度缓慢下降;S5:取出硅锭待其自然冷却。本发明具有结晶质量高、有效消除层积缺陷等优点。
本发明授权一种多晶硅定向凝固方法在权利要求书中公布了:1.一种多晶硅定向凝固方法,其特征在于,包括如下步骤: S1:单晶硅片酸洗除杂后置入坩埚1,之后放入熔化炉2内加热熔化并保持静置; S2:坩埚1底部快速降温使得底部硅液快速凝结; S3:坩埚1下拉使得硅液匀速结晶; S4:吹风装置3启动,硅锭温度急速下降; S4:熔化炉2升温并保持温度恒定,之后温度缓慢下降; S5:取出硅锭待其自然冷却; 所述的熔化炉2包括加热机构4以及带动坩埚1上下升降的抬升机构5,所述的抬升机构5上端安装有与坩埚1底部相对的冷却机构6,所述的熔化炉2内壁设置有与坩埚1侧面相对的隔热机构7;所述的冷却机构6包括网格结构的冷却架体61,所述的冷却架体61上端贴合固定有冷却铜板62,所述的冷却架体61内安装有盘绕布置且与冷却铜板62贴合的冷却铜管63,所述的冷却铜管63外接吹风装置3,所述的冷却铜板62与冷却铜管63之间设置有分离组件;所述的冷却铜管63呈圆环状且中心相合,所述的分离组件包括沿周向环绕在冷却铜管63外侧的分离环64,所述的分离环64与冷却架体61中心之间转动连接有呈中心对称布置的分离支杆65,所述的分离支杆65与冷却铜管63通过十字转接套66滑动连接,所述的十字转接套66与冷却架体61之间设置有平衡组件,所述的分离环64通过分离拉杆67与电动伸缩杆68传动连接;所述的十字转接套66包括供冷却铜管63穿过且与冷却铜管63转动连接的横套661,所述的横套661中部设置有相对横套661垂直布置的纵套662,所述的纵套662与分离支杆65滑动连接,所述的冷却铜管63连接有与冷却铜板62贴合的冷却铜片663,所述的冷却铜管63与冷却架体61之间设置有弹性复位件;所述的平衡组件包括竖直设置在冷却架体61内且截面呈L形的平衡板69,所述的平衡板69相对十字转接套66中心对称且侧边分别与十字转接套66的横套661和纵套662贴合抵靠。
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