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应用材料公司王重阳获国家专利权

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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利定序器时间跳跃执行获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115702397B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180043628.8,技术领域涉及:G05B19/04;该发明授权定序器时间跳跃执行是由王重阳设计研发完成,并于2021-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。

定序器时间跳跃执行在说明书摘要公布了:一种方法,其包括接收序列配方中的多个操作。多个操作与在基板处理系统中处理多个基板相关联。该方法进一步包括识别与多个操作对应的多个完成时间。多个完成时间中的每一完成时间对应于多个操作中的相应操作的完成。该方法进一步包括通过对多个完成时间中的每一者设定虚拟时间轴来模拟多个操作,以产生序列配方的时间表。该方法进一步包括基于时间表,使多个基板得到处理,或执行校正动作。

本发明授权定序器时间跳跃执行在权利要求书中公布了:1.一种基板处理方法,其包含以下步骤: 接收序列配方中的多个操作,其中所述多个操作与在基板处理系统中处理多个基板相关联; 识别对应于所述多个操作的多个完成时间,其中所述多个完成时间中的每一完成时间对应于所述多个操作中的相应操作的完成; 通过对所述多个完成时间中的每一者设定虚拟时间轴来模拟所述多个操作,以产生所述序列配方的时间表,其中模拟所述多个操作的步骤包含以下步骤: 基于所述多个操作中的每一操作的对应开始时间及对应总时间产生唤醒队列; 基于所述多个完成时间对所述唤醒队列中的所述多个操作进行排序;及 对于所述唤醒队列中的所述多个操作中的每一操作,获取所述唤醒队列中的下一操作,且设定所述虚拟时间轴以时间跳跃至所述下一操作的对应完成时间,直至完成所述唤醒队列中的所述多个操作中的每一操作;及 基于所述时间表,使所述多个基板得到处理,或执行校正动作。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司,其通讯地址为:美国加利福尼亚州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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