华中科技大学;湖北江城实验室程伟明获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学;湖北江城实验室申请的专利一种免电激活的NiFe2O4阻变存储器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115802881B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211578911.3,技术领域涉及:H10N70/20;该发明授权一种免电激活的NiFe2O4阻变存储器及其制备方法是由程伟明;周邦达;苏睿;缪向水设计研发完成,并于2022-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种免电激活的NiFe2O4阻变存储器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于存储器技术领域,更具体地,涉及一种免电激活的NiFe2O4阻变存储器及其制备方法。本发明提供的一种免电激活的NiFe2O4阻变存储器,包括自下而上设置的下电极层、阻变层和顶电极层;其中:下电极层为SrRuO3薄膜层;阻变层为NiFe2O4薄膜层。本发明中NiFe2O4薄膜层靠近SrRuO3薄膜层一侧其结构中氧空位浓度高,使得NiFe2O4薄膜层靠近所述SrRuO3薄膜层一侧呈非晶态,NiFe2O4薄膜层靠近顶电极一侧的氧空位浓度较少,使得NiFe2O4薄膜层靠近顶电极一侧呈晶态,阻变层整体含有大量氧空位,使得器件初阻即为低阻态,在使用时无需电激活过程且操作功耗低。
本发明授权一种免电激活的NiFe2O4阻变存储器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种免电激活的NiFe2O4阻变存储器,其特征在于,包括自下而上设置的下电极层、阻变层和顶电极层;其中: 所述下电极层为SrRuO3薄膜层;所述SrRuO3薄膜层的厚度为40-60nm 所述阻变层为NiFe2O4薄膜层;所述NiFe2O4的薄膜层的厚度为10-40nm; 所述顶电极层为Pt、Au或TiN; 所述的阻变存储器的制备方法,包括如下步骤: 1在衬底上沉积制备下电极层SrRuO3薄膜层;其沉积工艺条件包括:温度为650~700oC,腔体气氛为氧气,气压为10~15Pa; 2在所述SrRuO3薄膜层上沉积制备阻变层NiFe2O4薄膜层;其沉积工艺条件包括:温度为600~700oC,腔体气氛为氧气,气压为3~10Pa; 3对所述NiFe2O4薄膜层进行光刻显影,在显影后的NiFe2O4薄膜层上沉积制备顶电极; 所述NiFe2O4薄膜层靠近所述SrRuO3薄膜层一侧其结构中氧空位浓度高,使得NiFe2O4薄膜层靠近所述SrRuO3薄膜层一侧呈非晶态,NiFe2O4薄膜层靠近所述顶电极一侧的氧空位浓度较少,使得NiFe2O4薄膜层靠近所述顶电极一侧呈晶态;所述NiFe2O4薄膜层中的氧空位浓度自靠近所述SrRuO3薄膜层一侧向靠近所述顶电极一侧呈逐渐减少趋势,使得该阻变存储器的初阻即为低阻态,在使用时无需电激活过程且降低了操作功耗。
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