京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司陈江博获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司申请的专利金属线及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115917726B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180001375.8,技术领域涉及:H10W20/00;该发明授权金属线及其制作方法是由陈江博;于海;孙拓;张硕;李泽源;梁魁;孟凡理;李延钊设计研发完成,并于2021-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本金属线及其制作方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种金属线及其制作方法。所述金属线的制作方法包括:在衬底上形成金属条块;在金属条块的上方形成掩模,所述掩模的宽度小于所述金属条块的宽度,且所述掩模在所述衬底上的正投影位于所述金属条块在所述衬底上的正投影内;在所述掩模的保护下,湿法刻蚀所述金属条块至饱和状态,以形成金属线,所述金属线的宽度小于所述掩模的宽度。上述制作方法可形成高厚度、窄线宽的金属线。
本发明授权金属线及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种金属线的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括: 在衬底上形成牺牲层,所述牺牲层内形成有沟槽;所述沟槽在沿宽度方向上具有垂直于所述衬底的第一截面,所述第一截面整体呈上宽下窄的形貌;在所述沟槽内填充金属材料;去除所述牺牲层,在衬底上形成金属条块; 在所述金属条块的上方形成掩模,所述掩模的宽度小于所述金属条块的宽度,且所述掩模在所述衬底上的正投影位于所述金属条块在所述衬底上的正投影内; 在所述掩模的保护下,湿法刻蚀所述金属条块至饱和状态,以形成金属线,所述金属线的宽度小于所述掩模的宽度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司,其通讯地址为:100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励