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龙图腾网获悉上海复享光学股份有限公司申请的专利光栅衍射效率检测系统及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116026565B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211687493.1，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权光栅衍射效率检测系统及其检测方法是由赵茂雄;卢国鹏;隆军;贺晓龙;胡松婷;石磊;殷海玮设计研发完成，并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本光栅衍射效率检测系统及其检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光栅衍射效率检测系统及其检测方法，包括：一承台，承台的上方可转动地安装有样品台；入射组件，包括对准于样品台的光源、设置于光源的出光光路上的光束调制器和设置于光束调制器的出光光路上的偏振调制器；透镜组件，对准于待测微纳光栅及其衍射光束；第一成像透镜，设置于透镜组件的出光光路上；分束器，设置于第一成像透镜的出光光路上；第一光电探测装置，设置于分束器的反射光路上；第二光电探测装置，分束器的透射光路上设置有第二成像透镜，第二光电探测装置设置于第二成像透镜的出光光路上。本发明解决了传统宏观的光栅衍射效率测量方案无法对微纳尺度衍射光栅的微观区域进行衍射效率的检测的问题。

本发明授权光栅衍射效率检测系统及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种光栅衍射效率检测系统，其特征在于，包括： 一承台，所述承台的上方可转动地安装有用于安装待测微纳光栅的样品台； 入射组件，包括对准于所述样品台的光源、设置于所述光源的出光光路上的光束调制器和设置于所述光束调制器的出光光路上的偏振调制器； 透镜组件，对准于所述待测微纳光栅及其衍射光束； 第一成像透镜，设置于所述透镜组件的出光光路上； 分束器，设置于所述第一成像透镜的出光光路上； 用于采集所述待测微纳光栅的像的第一光电探测装置，设置于所述分束器的反射光路上； 用于采集所述待测微纳光栅经所述透镜组件的光学傅里叶面的像的第二光电探测装置，所述分束器的透射光路上设置有第二成像透镜，所述第二光电探测装置设置于所述第二成像透镜的出光光路上； 在待测微纳光栅的成像清晰时，第二光电探测装置经由第一成像透镜和分束器的透射光路一次性采集待测微纳光栅经透镜组件的光学傅里叶面的像以获得待测微纳光栅的衍射强度随入射光束的衍射角度和波长的分布。

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