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龙图腾网获悉齐鲁中科光物理与工程技术研究院申请的专利一种镀膜机通用退火装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116065132B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211284699.X，技术领域涉及：C23C14/58；该发明授权一种镀膜机通用退火装置是由寇洋;张梦蝶;袁磊;杨峰;黄康设计研发完成，并于2022-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种镀膜机通用退火装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种镀膜机通用退火装置，该退火装置包括流量控制器，气体恒温装置，气体过滤器，运动组件，温度参数控制部，加热部和气体管。本发明装置能根据不同镀膜机尺寸进行调整，安装并使用在镀膜机上，是一种能够安装于不同型号镀膜机的退火装置。利用本发明公开的退火装置进行薄膜退火，可以在镀膜工序结束后直接进行退火处理，可以避免薄膜在非真空环境中与杂质接触。该退火装置可以灵活调控气体出射位置与待退火样品的距离，气体流量和退火温度等退火条件，达到不同退火效果。结构稳定性好，安装调整灵活，不影响镀膜机正常运行。

本发明授权一种镀膜机通用退火装置在权利要求书中公布了：1.一种镀膜机通用退火装置，用于对光学薄膜退火，其特征在于，包括： 流量控制器2、气体恒温装置3、气体过滤器4，所述气体过滤器4、所述气体恒温装置3和所述流量控制器2之间通过气体管1串联，所述气体管1的一端用于与镀膜机壳体的内部连通； 第一运动组件，用于调控所述气体管1排气位置；所述第一运动组件包括第一控制台6-1，第一移动部7和第一固定部5；所述第一固定部5固定于所述镀膜机壳体的内壁上，所述第一移动部7能够沿着第一固定部5运动；所述第一移动部7上设有气孔，所述气孔用于所述气体管1输气或排气； 加热部10，所述加热部10用于加热待退火样品； 温度参数控制部11，所述温度参数控制部11用于监控镀膜机壳体内部温度并反馈给所述加热部10； 第二运动组件，用于调控所述加热部10位置；所述第二运动组件包括第二控制台6-2，第二移动部9和第二固定部8；所述第二固定部8固定于所述镀膜机壳体的内壁上，所述第二移动部9能够沿着第二固定部8运动；所述加热部10设置在所述第二移动部9上； 加热部10、第一固定部5，第二固定部8，第一移动部7，第二移动部9位于镀膜机壳体的内部；所述流量控制器2，气体恒温装置3，气体过滤器4，控制器6位于镀膜机壳体的外部； 所述流量控制器2与所述气体恒温装置3之间通过所述气体管1连接； 所述气体恒温装置3与所述气体过滤器4之间通过所述气体管1连接； 所述气体过滤器4与所述镀膜机之间通过所述气体管1连接； 所述控制器6包括所述第一控制台6-1和所述第二控制台6-2，第一控制台6-1用于控制所述第一移动部7移动，所述第二控制台6-2，用于控制所述第二移动部9移动； 通过镀膜机本身的真空泵调节镀膜机内的真空度，退火模式包括：真空退火、有氧退火和真空-有氧退火；其中，真空有氧退火模式的步骤为： 步骤100，通过调节第一移动部位置7，改变气体出射位置与样品的距离，该距离为5cm~50cm； 步骤200，通过调节第二移动部位置9，改变加热部10位置与样品的距离，该距离为5cm~50cm； 步骤300，利用镀膜机本身的真空泵调节镀膜机内的真空度，调节范围为10-1mbar~10-6mbar； 步骤400，通过温度参数控制部设置温度以5℃min升温，升温至退火所需温度后停止升温，并维持该温度； 步骤500，打开气体管1，通入氧气，调节气体进入镀膜机中的速度，进行退火； 在完成退火步骤之后关闭气体管1，关闭退火加热部，当温度降低至50℃时，关闭镀膜机的真空泵当真空度降低至大气压后，打开腔室门，取出样品。

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