华海清科(北京)科技有限公司王鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科(北京)科技有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116072574B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310173858.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种晶圆清洗装置是由王鹏;徐俊成;刘丰迪;张美美设计研发完成，并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆清洗装置，其包括：夹持组件，其水平夹持并驱动晶圆旋转；刷洗组件，其设置于所述夹持组件的侧部；所述刷洗组件包括摆臂，所述摆臂能够摆动至夹持组件的上方，其上的清洗刷沿晶圆的半径方向摆动以刷洗晶圆；所述清洗刷随所述摆臂沿竖直方向移动并抵压于晶圆表面，并且，所述清洗刷能够绕竖向轴线转动以刷洗晶圆。
本发明授权一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括： 夹持组件，其水平夹持并驱动晶圆旋转； 刷洗组件，其设置于夹持组件的侧部； 所述刷洗组件包括摆臂，摆臂能够摆动至夹持组件的上方，其上的清洗刷沿晶圆的半径方向摆动以刷洗晶圆； 所述清洗刷随摆臂沿竖直方向移动并抵压于晶圆表面，并且，清洗刷能够绕竖向轴线转动以刷洗晶圆； 所述摆臂包括固定板，其端部配置有安装座，转动轴通过转接件设置于安装座；转接件的外侧配置有滚珠轴承，其内侧配置有直线轴承，直线轴承套设于转动轴的外周侧； 所述转动轴的外周侧还配置有至少一个随动轴承，随动轴承的外圈抵接于转动轴的外周壁； 安装座的内部设置有密封环，其罩设于转动轴的外周侧并位于转接件的底部；密封环配置有沟槽； 所述转接件上设置有至少一个竖向孔道； 所述安装座配置有通气孔，其与密封环的沟槽相连通且与真空源连通； 其中，所述沟槽通过竖向孔道与滚珠轴承、直线轴承及随动轴承所在的空间相连通，以使在真空源抽吸的工作状态下，形成自各轴承区域经由竖向孔道、沟槽至通气孔的颗粒物抽吸路径；所述随动轴承的数量为多个，并沿转动轴的周向均匀分布。
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