华海清科股份有限公司吴兴获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种化学机械抛光驱动组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116175403B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211708144.3，技术领域涉及：B24B37/34；该发明授权一种化学机械抛光驱动组件是由吴兴;许振杰;王国栋;赵德文;路新春设计研发完成，并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学机械抛光驱动组件在说明书摘要公布了：本发明提供了一种化学机械抛光驱动组件，包括：驱动单元、驱动框架、旋转接头、承载头和减振轴系；所述减振轴系包括第一减振模组和第二减振模组，以分别吸收水平方向和或竖直方向的振动。本发明提供的减振轴系，在不提高驱动框架自重的情况下，吸收不同自由度方向上的振动能量，阻止振动能量的传递路径，防止零部件振动松动甚至失效，同时，一定程度上改善了晶圆研磨质量稳定性。
本发明授权一种化学机械抛光驱动组件在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光驱动组件，其特征在于，包括： 驱动单元、驱动框架、旋转接头、承载头和减振轴系； 减振轴系包括第一减振模组和第二减振模组，第一减振模组用于吸收水平方向和或竖直方向的振动，第二减振模组用于吸收水平方向的振动；减振轴系的主轴内部形成有空腔，以容纳第三减振模组； 第一减振模组配置于主轴的上部的圆周，包括减振结构和翼板，翼板具有弹性模量； 第二减振模组包括与主轴的顶部外周连接的轴承、围绕轴承的多个阻尼柱和隔振套，多个阻尼柱位于隔振套内；翼板经由减振结构与隔振套连接； 第三减振模组置于主轴的底部以接近振源，包括振芯，振芯两端均设置一弹性件和一减振环； 第三减振模组能够进行双自由度减振，振芯用于提升主轴静态刚性并对主轴进行减振，弹性件用于对振芯轴向减振，减振环用于对振芯径向减振；第二减振模组的轴承与隔振套之间留有间隙，当主轴振动、轴承偏摆振动时，轴承自由挤压阻尼柱，将振动能量转化为阻尼柱内部的摩擦阻尼予以消耗；第一减振模组先通过减振结构吸收主轴顶部的振动能量、再通过翼板再次吸收振动能量。
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