北京一径科技有限公司何文涛获国家专利权
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龙图腾网获悉北京一径科技有限公司申请的专利微机电系统MEMS扫描镜及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116256889B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111504484.X，技术领域涉及：G02B26/08；该发明授权微机电系统MEMS扫描镜及其制备方法是由何文涛;张乃川;石拓设计研发完成，并于2021-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机电系统MEMS扫描镜及其制备方法在说明书摘要公布了：本公开实施例涉及微机电系统技术领域，提供了一种微机电系统MEMS扫描镜及其制备方法，包括：镜子；驱动模块，包括：位置固定的固定梁、可绕轴转动的转动梁和连接件；固定梁上设置有第一梳齿；转动梁上设置有第二梳齿；所述第一梳齿成型于第一膜层，所述第二梳齿成型于第二膜层；第一梳齿和第二梳齿在驱动信号作用下可驱动转动梁摆动；连接件连接镜子和转动梁；摆动的转动梁可通过连接件驱动镜子旋转。本公开实施例中，一方面，可以根据梳齿的高度要求采用不同厚度的膜层进行加工，提升了膜层的尺寸一致性；另一方面，可以在制备过程中设置刻蚀阻挡层，从而无需精确控制刻蚀硅的速率及时间，提高了芯片的制备效率，适合大规模量产。
本发明授权微机电系统MEMS扫描镜及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统MEMS扫描镜，其特征在于，包括： 镜子； 驱动模块，包括：位置固定的固定梁、可绕轴转动的转动梁和连接件； 所述固定梁上设置有第一梳齿；所述转动梁上设置有第二梳齿；所述第一梳齿成型于第一膜层，所述第二梳齿成型于第二膜层；所述转动梁的两端分别通过旋转轴与固定锚点连接，所述固定锚点上设置有金属焊盘；在所述金属焊盘上分别施加电压，所述第一梳齿吸引所述第二梳齿转动，所述第二梳齿转动后驱动所述转动梁绕着所述旋转轴摆动； 所述连接件连接所述镜子和所述转动梁；摆动的所述转动梁可通过所述连接件驱动所述镜子旋转；所述连接件包括连杆和与所述连杆连接的铰链；所述镜子、所述连杆和或所述铰链均包括上部和下部；所述上部成型于所述第二膜层；所述下部成型于所述第一膜层。
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