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龙图腾网获悉美新半导体(无锡)有限公司申请的专利一种单芯片六轴传感器及其加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116298385B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310092141.X，技术领域涉及：G01P15/08；该发明授权一种单芯片六轴传感器及其加速度计是由刘尧;凌方舟;蒋乐跃;苏云鹏设计研发完成，并于2023-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单芯片六轴传感器及其加速度计在说明书摘要公布了：本发明提供一种单芯片六轴传感器及其加速度计，所述加速度计包括Z轴加速度计。所述Z轴加速度计包括：Z轴质量块，其内定义有第一空间和第二空间；锚点结构，其位于第一空间内；转轴，其位于第一空间内且平行于XY轴放置，转轴连接锚点结构和Z轴质量块，Z轴质量块位于转轴一侧的质量与另一侧的质量不同，以使Z轴质量块以转轴为轴发生跷跷板式运动；空气阻尼单元，其位于第二空间内，其包括第一锚点，连接在第一锚点上的若干固定阻尼梳齿，连接在Z轴质量块上的若干可动阻尼梳齿，固定阻尼梳齿和可动阻尼梳齿呈叉指排布。与现有技术相比，本发明通过设计空气阻尼结构，不同刚度的限位器来增强加速度计在低压腔体中的可靠性，降低生产成本和提高集成度。

本发明授权一种单芯片六轴传感器及其加速度计在权利要求书中公布了：1.一种加速度计，其特征在于，其包括Z轴加速度计，所述Z轴加速度计能够感应到Z轴加速度，所述Z轴加速度计包括： Z轴质量块，其内定义有第一空间和第二空间； 锚点结构，其位于所述第一空间内； 转轴，其位于所述第一空间内且平行于X或Y轴放置，所述转轴连接所述锚点结构和Z轴质量块，所述Z轴质量块位于所述转轴一侧的质量与所述Z轴质量块位于所述转轴另一侧的质量不同，所述Z轴质量块能够以所述转轴为轴发生跷跷板式运动； 空气阻尼单元，其位于所述第二空间内，所述空气阻尼单元包括第一锚点、连接在第一锚点上的若干固定阻尼梳齿以及连接在所述Z轴质量块上的若干可动阻尼梳齿，所述若干固定阻尼梳齿和所述若干可动阻尼梳齿呈叉指排布，以形成若干空气阻尼对； 其中，X轴和Y轴相互垂直并且定义了所述Z轴加速度计的基底所在的平面，Z轴垂直于X轴和Y轴所定义的平面， 所述锚点结构包括第二锚点、缓冲梁和蛇形梁， 所述缓冲梁连接所述第二锚点和所述转轴； 所述蛇形梁位于所述第二锚点远离所述转轴的一侧，且所述蛇形梁的一端与所述第二锚点相连，其另一端靠近所述Z轴质量块， 所述蛇形梁在靠近所述Z轴质量块的另一端设计有第一碰撞限位结构； 所述Z轴质量块内还定义有第三空间， 所述Z轴加速度计还包括位于所述第三空间的第二碰撞限位结构，其能同时对XY方向上的冲击进行抑制， 所述第二碰撞限位结构包括第三锚点，以及位于所述第三锚点外侧的若干悬臂梁结构，所述悬臂梁结构的一端固定于所述第三锚点上，其另一端靠近所述Z轴质量块， 所述悬臂梁结构为Z型直角结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人美新半导体(无锡)有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新辉环路2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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