科磊股份有限公司S·I·潘戴夫获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利基于机器学习的测量配方优化的动态控制获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116324393B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180064711.3，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权基于机器学习的测量配方优化的动态控制是由S·I·潘戴夫;A·杰亚瑞曼设计研发完成，并于2021-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于机器学习的测量配方优化的动态控制在说明书摘要公布了：本文中描述用于在动态控制多个性能目标的收敛轨迹时训练及实施计量配方的方法及系统。采用性能度量以正则化在测量模型训练、基于模型的回归或两者期间采用的优化过程。在模型训练期间动态控制与模型优化的损失函数中的所述性能目标中的每一者相关联的加权值。以此方式，控制每一性能目标的收敛及所述损失函数的多个性能目标之间的权衡以按稳定、平衡方式得到经训练测量模型。采用经训练测量模型以基于具有一或多个所关注参数的未知值的结构的测量来估计所关注参数的值。另一方面，动态控制与测量模型上的基于模型的回归中的所述性能目标中的每一者相关联的加权值。
本发明授权基于机器学习的测量配方优化的动态控制在权利要求书中公布了：1.一种系统，其包括： 计量工具，其包含照明源及检测器，所述检测器经配置以从安置在第一晶片上的一或多个正则化结构的测量收集一定量的正则化测量数据；及 运算系统，其经配置以： 接收与一或多个实验设计DOE计量目标的测量相关联的一定量的实验设计DOE测量数据； 接收与所述DOE计量目标相关联的一或多个所关注参数的已知参考值； 接收所述正则化测量数据； 接收与所述正则化测量数据相关联的一或多个测量性能度量的值；及 基于包含所述一定量的实验设计DOE测量数据、一或多个所关注参数的所述参考值、所述正则化测量数据及所述一或多个测量性能度量的优化函数迭代地训练测量模型，其中所述优化函数包含与所述一或多个测量性能度量中的每一者相关联的正则化项，且其中在所述测量模型的迭代期间动态控制与所述正则化项中的每一者相关联的加权值。
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