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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种实现轴承水润滑的晶圆清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116371794B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310378343.0，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权一种实现轴承水润滑的晶圆清洗装置是由路新春;睢英照;请求不公布姓名设计研发完成，并于2023-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种实现轴承水润滑的晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种实现轴承水润滑的晶圆清洗装置，包括：箱体，其内部用于容纳晶圆并提供晶圆清洗的空间；清洗组件，包括位于晶圆两侧的两个水平设置的滚刷，滚刷具有驱动端和进液端；滚刷在位于其驱动端的驱动件的带动下沿其轴向旋转，对晶圆表面进行滚动擦洗；进液端的端部与进液端盖对接，进液端的外周配置有轴承组件，轴承组件的底部配置有引流装置；清洗液由进液端盖通入进液端，至少部分清洗液流入滚刷，其余清洗液穿过轴承组件后由引流装置排出。本发明在滚刷的进液端配置引流装置，使得流体流过轴承组件后由底部的引流装置流出，在对轴承组件实现水润滑的同时防止清洗液流进箱体，降低晶圆污染的风险。

本发明授权一种实现轴承水润滑的晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种实现轴承水润滑的晶圆清洗装置，其特征在于，包括： 箱体，其内部用于容纳晶圆并提供晶圆清洗的空间； 清洗组件，包括位于晶圆两侧的两个水平设置的滚刷，滚刷具有支撑轴、驱动端和进液端，支撑轴的内部沿轴向形成有贯穿的进液通道，滚刷在位于其驱动端的驱动件的带动下沿其轴向旋转，对晶圆表面进行滚动擦洗； 进液端与进液端盖对接，进液端的外周配置有轴承组件，轴承组件的底部配置有引流装置； 支撑轴靠近进液端盖的一端开设有中心通孔，其直径大于进液通道的直径，使得中心通孔与进液通道之间形成阶梯面； 进液端盖靠近轴承组件的一侧表面设有沿水平方向延伸形成的注液轴以及围绕注液轴设置的环形凹槽，注液轴的至少部分插入支撑轴一端的中心通孔内，注液轴的端面与中心通孔的底面之间保留一定空隙以形成缓存腔，进液端盖的内部开设有注液通道并贯穿注液轴的端面； 支撑轴的端面与环形凹槽的底面之间保留一定缝隙将缓存腔和环形凹槽连通，引流装置与轴承组件之间形成引流狭缝，清洗液由注液通道通入缓存腔，至少部分清洗液流入滚刷，其余清洗液得以从缓存腔流入环形凹槽，并由环形凹槽流入轴承组件所在区域，进而径向穿过轴承组件进行水润滑，最后由引流狭缝进入引流装置，并由引流装置排出。

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