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中国科学院上海光学精密机械研究所魏朝阳获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种RB-SiC表面飞秒激光改性预处理方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116460443B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310418443.1,技术领域涉及:B23K26/352;该发明授权一种RB-SiC表面飞秒激光改性预处理方法是由魏朝阳;陈欢;曹珍;邵建达;蒋志刚;彭小聪设计研发完成,并于2023-04-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种RB-SiC表面飞秒激光改性预处理方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种RB‑SiC表面飞秒激光改性预处理方法,通过飞秒激光对RB‑SiC表面上的预置Si粉进行改性处理,以提高RB‑SiC表面的抛光效率。本发明可以直接对RB‑SiC的切割表面进行表面改性,预置在RB‑SiC表面的Si粉在飞秒激光的高峰值功率作用下被迅速氧化,并随着氧化深度的不断加深,使得氧化后的改性层与RB‑SiC基体形成键合,得到一个具有高粘附强度、高质量的改性涂层。该方法具有操作简便、对RB‑SiC基体和工作环境要求低、可在空气中直接进行等优点,可以应用于面形复杂的RB‑SiC表面改性,能够显著提高其抛光效率。

本发明授权一种RB-SiC表面飞秒激光改性预处理方法在权利要求书中公布了:1.一种RB-SiC表面飞秒激光改性预处理方法,其特征在于,包括: ①对RB-SiC工件的切割表面进行超声清洗,以作为改性基体; ②取浓度大于99.97%酒精与粒度为8μm的Si粉按照重量比1.35~1.6:1混合,并研磨半小时至泥浆状; ③将研磨好的Si粉均匀预置在RB-SiC工件表面,保证预置粉末的厚度为0.2~0.8mm,并将铺好粉末的RB-SiC工件固定于RB-SiC表面飞秒激光改性预处理装置的二维移动平台; ④调控物镜位置进行对焦处理; ⑤设置飞秒激光改性预处理工艺参数; ⑥移动所述的二维移动平台确定加工起点,开启激光器和二维移动平台,对RB-SiC工件表面预置Si粉进行飞秒激光改性预处理,使RB-SiC表面的预置Si粉在飞秒激光的高峰值功率的作用下被迅速氧化,并随着氧化深度的不断加深,最终使得氧化后的改性层与基底形成键合; ⑦改性预处理结束,关闭激光光束,将所述的二维移动平台回零,并关闭二维移动平台1,取出表面改性完成的RB-SiC工件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院上海光学精密机械研究所,其通讯地址为:201800 上海市嘉定区清河路390号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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