万华化学集团电子材料有限公司韩翠婷获国家专利权
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龙图腾网获悉万华化学集团电子材料有限公司申请的专利一种钨化学机械抛光液及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116478624B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310477179.9，技术领域涉及：C09G1/02；该发明授权一种钨化学机械抛光液及其应用是由韩翠婷;崔晓坤;王瑞芹;卞鹏程;卫旻嵩;王庆伟;李国庆;王永东;徐贺设计研发完成，并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钨化学机械抛光液及其应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种钨化学机械抛光液，该抛光液包含研磨颗粒、催化剂、稳定剂、氧化剂、腐蚀抑制剂，还包含取代的硼酸频哪醇酯，余量为水。本发明的钨化学机械抛光液使用的取代的硼酸频哪醇酯能够增加抛光液稳定性，提高去除速率。
本发明授权一种钨化学机械抛光液及其应用在权利要求书中公布了：1.一种钨化学机械抛光液，其特征在于，包括质量分数为0.1%~10%的研磨颗粒、0.001%~0.1%催化剂、0.02%~0.5%稳定剂、0.5%~3.5%氧化剂、0.005%~5%腐蚀抑制剂和0.001%~0.1%取代的硼酸频哪醇酯，余量为水; 所述取代的硼酸频哪醇酯选自以下结构A~L中的任一种， 所述钨化学机械抛光液的制备步骤包括：将取代的硼酸频哪醇酯加入到适量去离子水中，搅拌10min，然后用硝酸将pH调至2～3后，之后边搅拌边缓慢向其中加入硅溶胶粒子，之后按照比例通过简单搅拌混合配制钨化学机械抛光液。
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