广东先导微电子科技有限公司郑金龙获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种碲锌镉晶片的退火方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116479530B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310243494.5,技术领域涉及:C30B33/02;该发明授权一种碲锌镉晶片的退火方法是由郑金龙;唐勇;杨小丽;周铁军;马金峰设计研发完成,并于2023-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碲锌镉晶片的退火方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种碲锌镉晶片的退火方法,包括:S1、将碲锌镉晶片和碲粉放入退火炉的不同位置中,将退火炉密封后抽真空;S2、将退火炉缓慢升温至790‑805℃,进行保温;S3、缓慢降温,即得。该退火方法操作容易、工艺流程短、工艺可控性强、所需时间短,退火后的直径为0.3μm大小的碲锌镉晶片亮点数量低至30颗以下,内应力低、成分均匀、且电阻率高、颗粒夹杂物少,且该方法一次性能处理上百片晶片,因此处理效率高,具有可观的应用前景。
本发明授权一种碲锌镉晶片的退火方法在权利要求书中公布了:1.一种碲锌镉晶片的退火方法,其特征在于,包括: S1、将碲锌镉晶片和碲粉放入退火炉的不同位置中,将退火炉密封后抽真空; S2、将退火炉缓慢升温至790-805℃,进行保温;所述保温的时间为12-15h;所述缓慢升温速度为0.4-1.3℃min; S3、缓慢降温,即得;步骤S3中,所述缓慢降温包括以0.5-1.2℃min的降温速度降温至300℃以下。
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