成都飞机工业(集团)有限责任公司谢睿获国家专利权
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龙图腾网获悉成都飞机工业(集团)有限责任公司申请的专利一种激光干涉仪自动调整装置及其调整方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116538910B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310369747.3,技术领域涉及:G01B9/02055;该发明授权一种激光干涉仪自动调整装置及其调整方法是由谢睿;刘大炜;陶文坚;曾德标;虎瑛;张敏;蒋云峰;陈学振;李连玉设计研发完成,并于2023-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光干涉仪自动调整装置及其调整方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种激光干涉仪的调整装置以及调整方法,通过设计激光干涉仪安装调整机构,组合手动调整和自动调整机构,为激光干涉仪的自动化调整提供硬件解决方案;通过组合的第一PSD位置传感器和第二PSD位置传感器检测激光光路,实现激光干涉仪与干涉镜之间的快速安装校准。通过对多点位置检测的结果进行最小二乘法拟合分析,求解出激光干涉仪出射光在空间中的最佳方向矢量,消除激光测量系统自身的系统误差,减少阿贝误差和余弦误差对激光测量系统的影响。
本发明授权一种激光干涉仪自动调整装置及其调整方法在权利要求书中公布了:1.一种激光干涉仪的调整装置,其特征在于:包括调整机构、调整平台、第一PSD位置传感器、第二PSD位置传感器、第一分光镜、第二分光镜、第一角锥反射镜以及第二角锥反射镜; 所述调整平台活动安装于所述调整机构,所述调整机构包括二自由度平面调整机构以及二自由度摆角调整机构;所述二自由度摆角调整机构安装于所述二自由度平面调整机构,所述调整平台安装于所述二自由度摆角调整机构,所述调整平台具有四个自由度,所述调整平台用于安装激光干涉仪主机; 所述第一PSD位置传感器、所述第二PSD位置传感器、所述第一分光镜、所述第二分光镜、所述第一角锥反射镜以及所述第二角锥反射镜均安装于所述调整平台;两个PSD传感器用于检测位置信号,并在所述第一PSD位置传感器和所述第二PSD位置传感器上均有光线位置检测信号输入后,开启自动准直模式,使得所述激光干涉仪主机安装在所述调整平台上时,所述第一PSD位置传感器、所述第二PSD位置传感器、所述第一分光镜、所述第二分光镜、所述第一角锥反射镜以及所述第二角锥反射镜在经过调整后能够处于理想准直状态。
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