浙江景昇薄膜科技有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江景昇薄膜科技有限公司申请的专利一种氧化物靶材及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116623134B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310387335.2,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权一种氧化物靶材及其制备方法与应用是由姚力军;潘杰;姚舜;王予丛;沈栋栋;范昕设计研发完成,并于2023-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化物靶材及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明提供了一种氧化物靶材及其制备方法与应用,所述制备方法包括如下步骤:混合金属氧化物、锂源和溶剂,得到含锂的金属氧化物;将含锂的金属氧化物进行一次烧结、压块和二次烧结得到所述氧化物靶材;所述制备方法能在制备过程中成功掺杂锂离子,制备得到含锂的氧化物靶材,解决了锂离子活泼不易掺入,以及磁控溅射制备的氧化物薄膜存在电导率和光电化学性质较低的缺陷,显着提升了氧化物薄膜的电导率和光电化学性质。
本发明授权一种氧化物靶材及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种氧化物靶材的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤: 1混合金属氧化物、锂源和溶剂,得到含锂的金属氧化物; 2将步骤1所述含锂的金属氧化物进行一次烧结、压块和二次烧结得到所述氧化物靶材; 步骤1所述混合包括:向金属氧化物和锂源的混合物中加入溶剂,得到湿态混合物,研磨湿态混合物至干,得到所述含锂的金属氧化物;所述加入溶剂,得到湿态混合物,研磨湿态混合物至干的次数为3-5次;每次加入所述溶剂的量与金属氧化物的质量比为0.5-2:10; 步骤1所述金属氧化物包括氧化镍和或氧化钨; 步骤1所述锂源为锂粉; 步骤1所述锂源的纯度>99.9%; 步骤1所述溶剂为乙醇; 步骤2所述压块包括依次进行的预压和液压。
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