宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种延长高纯靶材寿命的处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116690105B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310795294.0，技术领域涉及：B23P9/02；该发明授权一种延长高纯靶材寿命的处理方法是由姚力军;潘杰;王学泽;陈林华;姚泽新设计研发完成，并于2023-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种延长高纯靶材寿命的处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种延长高纯靶材寿命的处理方法，所述处理方法包括：1将所述高纯靶材固定于加工平台的夹具上，对所述高纯靶材的端面和侧面的圆度和平面度进行确认；2对所述高纯靶材的端面和侧面进行滚花处理，形成分段式花纹结构；所述分段式花纹结构中每1段花纹与相邻花纹彼此嵌合排列；所述分段式花纹结构中每1段花纹与相邻花纹之间的嵌合深度为0.2‑0.3mm。通过滚花处理后在靶材的端面和侧面分别设置分段式花纹结构，可显著提高靶材表面的粗糙度，增强附着力，防止了靶材在使用过程中无法有效附着反溅射物，使反溅射物不易脱落，也避免异常放电现象的发生，同时延长了靶材的使用寿命。
本发明授权一种延长高纯靶材寿命的处理方法在权利要求书中公布了：1.一种延长高纯铝靶材寿命的处理方法，其特征在于，所述处理方法包括： 1将所述高纯铝靶材固定于加工平台的夹具上，对所述高纯铝靶材的端面和侧面的圆度和平面度进行确认； 2对所述高纯铝靶材的端面和侧面进行滚花处理，形成分段式花纹结构； 所述分段式花纹结构中每1段花纹与相邻花纹彼此嵌合排列；所述分段式花纹结构中每1段花纹与相邻花纹之间的嵌合深度为0.2-0.3mm； 步骤2所述高纯铝靶材端面的滚花区域宽度为5-6.2mm； 步骤2所述分段式花纹结构至少为2段式花纹结构； 步骤2所述分段式花纹结构包括菱形； 步骤2所述分段式花纹结构中花纹密度为60-120TPI； 步骤2所述分段式花纹结构中花纹深度为0.28-0.46mm。
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