宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司马万保获国家专利权
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龙图腾网获悉宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司申请的专利石英坩埚底部圆弧位置水平打孔装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116728616B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310835774.5,技术领域涉及:B28D1/14;该发明授权石英坩埚底部圆弧位置水平打孔装置及方法是由马万保;李长苏;李卫;陈荣贵;陈金莲;何玉鹏;王晓明;史海贝设计研发完成,并于2023-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本石英坩埚底部圆弧位置水平打孔装置及方法在说明书摘要公布了:一种石英坩埚底部圆弧位置水平打孔装置,包括加工平台、双向对中机构、钻孔机构;加工平台的上表面开设有导向槽,加工平台的上表面固定设有支撑板;钻孔机构包括基座、纵向板、钻孔设备、安装板、定位杆;基座横向滑动设于支撑板上,纵向板垂直固定于基座上,安装板纵向滑动设于纵向板上;钻孔设备与安装板垂直,定位杆垂直固定于安装板的上端;双向对中机构包括动力组件、左夹板、右夹板;左夹板、右夹板位于加工平台上方且对称设于定位杆的两侧,左夹板、右夹板的下端穿过导向槽并与动力组件相连接。本发明既可保证石英坩埚打孔位置的准确性,避免空洞不圆,又可提高制造合格率及作业效率。还提供了一种石英坩埚底部圆弧位置水平打孔方法。
本发明授权石英坩埚底部圆弧位置水平打孔装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种石英坩埚底部圆弧位置水平打孔装置,其特征在于:包括加工平台、双向对中机构、钻孔机构; 所述加工平台的上表面开设有两个平行设置的导向槽,在加工平台的上表面且垂直于导向槽的一侧固定设有支撑板; 所述钻孔机构包括基座、纵向板、钻孔设备、安装板、定位杆;所述基座滑动设置于支撑板上,基座可在支撑板上沿垂直于导向槽的方向往复移动,所述纵向板垂直固定于基座上,所述安装板滑动设置于纵向板上,安装板可沿纵向板上下移动;所述钻孔设备与安装板垂直且沿支撑板的长度方向设置,所述定位杆垂直固定于安装板的上端且沿支撑板的长度方向设置,定位杆位于钻孔设备的正上方; 所述支撑板上设有横向驱动杆,所述横向驱动杆与基座丝杠传动,以带动基座在支撑板上沿垂直于导向槽的方向往复移动; 所述定位杆远离安装板的一端滑动设有限位板,使限位板可沿定位杆移动,所述限位板通过牵引线与横向驱动杆相连接,横向驱动杆带动基座靠近石英坩埚,牵引线同步拉动限位板靠近石英坩埚,所述限位板的形状与石英坩埚底部弧形结构相适配; 所述双向对中机构包括动力组件、左夹板、右夹板;所述左夹板、右夹板位于加工平台上方,左夹板、右夹板对称设置于定位杆的两侧,左夹板、右夹板的下端穿过导向槽并向下延伸,所述动力组件设置于加工平台的下方,动力组件分别与左夹板、右夹板相连接,以带动左夹板、右夹板沿导向槽同步向中间靠拢或同步向两侧分离。
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