通威太阳能(成都)有限公司郭忠军获国家专利权
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龙图腾网获悉通威太阳能(成都)有限公司申请的专利掩膜结合力测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116754474B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310648025.1，技术领域涉及：G01N19/04；该发明授权掩膜结合力测试方法是由郭忠军设计研发完成，并于2023-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩膜结合力测试方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种掩膜结合力测试方法。测试方法包括如下步骤：在基材的表面放置隔离件，使所述隔离件遮蔽所述基材的部分表面。在所述隔离件的部分表面制备测试掩膜，并使所述测试掩膜延伸至所述基材裸露的表面。通过对所述隔离件裸露的部分施加作用力以使所述测试掩膜与所述基材完全分离，并测试所述作用力的大小。该测试方法中，在基材和测试掩膜之间设置隔离件，隔离件遮蔽基材的部分表面，同时使隔离件的部分表面裸露。通过对隔离件裸露的部分施加作用力以使测试掩膜与基材完全分离，并测试作用力的大小。这样可以通过作用力的大小来反映测试掩膜与基材之间的结合力，进而可以对掩膜与基材之间的结合力进行测试。
本发明授权掩膜结合力测试方法在权利要求书中公布了：1.一种掩膜结合力测试方法，其特征在于，包括如下步骤： 在基材的表面放置隔离件，使所述隔离件遮蔽所述基材的部分表面； 在所述隔离件的表面以及所述基材裸露的表面制备基础掩膜，所述基础掩膜将所述隔离件表面和所述基材表面用于形成所述测试掩膜的预设区域全部覆盖，且所述基础掩膜的面积大于所述预设区域的面积； 在所述基础掩膜上形成分界沟槽，所述分界沟槽自所述基础掩膜的表面贯穿至所述基材的表面，所述分界沟槽位于所述预设区域的边缘以在所述基础掩膜的与所述预设区域对应的区域形成所述测试掩膜； 通过对所述隔离件裸露的部分施加作用力以使所述测试掩膜与所述基材完全分离，并测试所述作用力的大小；所述隔离件裸露的部分包括所述隔离件的两端，施加所述作用力时，在所述隔离件的两端同步施加所述作用力。
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