上海微电子装备(集团)股份有限公司程斌斌获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利光路稳定控制装置及光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116841125B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210295567.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光路稳定控制装置及光刻机是由程斌斌;罗兵;赵建军;张洪博设计研发完成，并于2022-03-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本光路稳定控制装置及光刻机在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光路稳定控制装置及光刻机，所述光路稳定控制装置包括：入风口、挡风板、导流格栅以及多孔组件；其中，所述入风口用于通入压缩气体；所述挡风板用于把气体分为两路，第一路气体通过所述导流格栅，第二路气体通过所述多孔组件；所述导流格栅用于均匀化所述第一路气体以对干涉仪进行散热；所述多孔组件用于均匀化所述第二路气体以维持干涉仪光路的压力稳定。本发明提供的光路稳定控制装置提高了干涉仪光路的稳定性，并且解决了干涉仪自身发热导致的测量偏差，从而提升了干涉仪的测量精度。
本发明授权光路稳定控制装置及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种光路稳定控制装置，其特征在于，包括：入风口、挡风板、导流格栅以及多孔组件，其中， 所述入风口用于通入压缩气体； 所述挡风板用于把气体分为两路，第一路气体通过所述导流格栅，第二路气体通过所述多孔组件； 所述导流格栅用于均匀化所述第一路气体以对干涉仪进行散热； 所述多孔组件用于均匀化所述第二路气体以维持干涉仪光路的压力稳定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海微电子装备(集团)股份有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区张东路1525号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励