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哈尔滨工业大学赵林杰获国家专利权

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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利基于变倍环倍数变换的大口径KDP晶体微缺陷快速检测与寻位方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116908183B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310610921.9,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权基于变倍环倍数变换的大口径KDP晶体微缺陷快速检测与寻位方法是由赵林杰;侯家锟;陈明君;程健;武文强;刘启;王景贺;刘志超;王健;许乔设计研发完成,并于2023-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。

基于变倍环倍数变换的大口径KDP晶体微缺陷快速检测与寻位方法在说明书摘要公布了:本发明基于变倍环倍数变换的大口径KDP晶体微缺陷快速检测与寻位方法,涉及光学工程技术领域,为解决现有方法扫描效率低、图像成像质量低、易发生图像漏拍的现象的问题。本发明采用基于仿CMT跟踪算法的特征点匹配方法确定各个变倍环倍数下转换系数,进一步计算不同倍数下扫描显微镜的实际视野范围;通过寻边运动,并提取元件边缘图像,确定元件中心坐标值,实现晶体全局坐标转换;基于低倍数扫描显微镜,采用栅格式往复扫描策略进行整块晶体元件表面微缺陷扫描,基于中倍数扫描显微镜对元件表面微缺陷进行寻位;在对晶体元件表面微缺陷扫描及寻位过程中,均采用基于梯度算法的图像处理方法,最终快速、准确得到各个微缺陷的位置、形状、尺寸信息。

本发明授权基于变倍环倍数变换的大口径KDP晶体微缺陷快速检测与寻位方法在权利要求书中公布了:1.基于变倍环倍数变换的大口径KDP晶体微缺陷快速检测与寻位方法,其特征在于,包括如下步骤: 步骤1.安装待测光学晶体元件,组装并调整扫描显微镜系统,晶体元件移动机构各轴自动回零,并建立绝对坐标系; 步骤2.调整扫描显微镜变倍环倍数,采用基于仿CMT跟踪算法的特征点匹配方法确定各个变倍环倍数下转换系数,完成像素标定,并建立面向用户的直观扫描显微镜一键标定模块; 步骤3.根据步骤2得到的扫描显微镜不同变倍环倍数的转换系数及扫描显微镜的分辨率,计算不同倍数下扫描显微镜的实际视野范围; 步骤4.控制扫描显微镜进行寻边运动,并提取元件边缘图像,确定元件边缘在绝对坐标系中的坐标值,进一步确定元件中心坐标值,根据元件中心坐标值建立大口径KDP晶体元件的工件坐标系,实现晶体全局坐标转换; 步骤5.调整扫描显微镜变倍环倍数为低倍数,根据步骤3得到的实际视野范围选择扫描步距,采用栅格式往复扫描策略进行整块晶体元件表面微缺陷的扫描并采集图像,同时,调用运动控制器进行扫描过程运动控制与运动状态检测,采用基于梯度算法的图像处理方法对采集的图像进行处理,确定缺陷在绝对坐标系中的位置坐标; 步骤6.调整扫描显微镜变倍环倍数为中倍数,根据步骤5得到的元件表面微缺陷的位置坐标,将缺陷点移动至扫描显微镜视野中,采集晶体元件表面微缺陷图像; 步骤7.根据步骤6采集到的晶体元件表面微缺陷图像,采用基于梯度算法的图像处理方法提取微缺陷特征信息,得到各个微缺陷的位置、形状、尺寸信息; 步骤2包括如下过程: 调整扫描显微镜变倍环倍数为最低倍数k1,调整扫描显微镜的视野使其聚焦于刀具的刀尖部分,通过调整环形光源的亮度或者调整扫描显微镜的曝光时间,使得获取的图像尽可能的清晰且保持细节的丰富;将刀尖移至点A处并通过扫描显微镜采集图像,再将刀尖沿X2轴移动距离d至点B处,采集图像,根据仿CMT算法计算刀尖在图像中运动的像素距离及刀具刀尖的实际移动距离d,计算转换系数c: 基于上述方法对扫描显微镜不同变倍环倍数下像素进行标定。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨工业大学,其通讯地址为:150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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