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龙图腾网获悉南方科技大学;深圳国际量子研究院申请的专利一种扫描电镜的三元函数拟合动态聚焦方法及相关设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116908488B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310688030.5，技术领域涉及：G01Q30/00；该发明授权一种扫描电镜的三元函数拟合动态聚焦方法及相关设备是由刘子桐;张振生;宋学锋;彭小冲;范留飞;俞大鹏设计研发完成，并于2023-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种扫描电镜的三元函数拟合动态聚焦方法及相关设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种扫描电镜的三元函数拟合动态聚焦方法及相关设备。方法包括：获取第一成像图和第一聚焦参数，将所述第一成像图分成多个第一子图；获取第一目标子图，根据所述第一目标子图的位置和所述第一聚焦参数获取第二聚焦参数；根据所述第二聚焦参数扫描所述第二聚焦参数对应的位置的样品，得到多个第三目标子图，将所述第一目标子图和第三目标子图合并，得到输出成像图。本发明提供的扫描电镜的三元函数拟合动态聚焦方法可以更快速简单的得到更清晰的所述输出成像图，解决了现有技术中当电子束在扫描场扫描时，扫描场边缘区域图像质量模糊的问题。

本发明授权一种扫描电镜的三元函数拟合动态聚焦方法及相关设备在权利要求书中公布了：1.一种扫描电镜的三元函数拟合动态聚焦方法，其特征在于，包括： 获取第一成像图和第一聚焦参数，所述第一聚焦参数为所述第一成像图对应的聚焦参数，将所述第一成像图分成多个第一子图； 获取第一目标子图，所述第一目标子图为所述第一子图中清晰度最高的子图，根据所述第一目标子图的位置和所述第一聚焦参数获取第二聚焦参数，所述第二聚焦参数为第二目标子图对应的位置的聚焦参数，其中，所述第二目标子图为所述第一子图中除所述第一目标子图外的子图； 根据所述第二聚焦参数扫描所述第二聚焦参数对应的位置的样品，得到多个第三目标子图，将所述第一目标子图和第三目标子图合并，得到输出成像图； 所述根据所述第一目标子图的位置和所述第一聚焦参数获取第二聚焦参数，包括： 根据所述第一目标子图的位置获取目标距离和目标角度，其中，所述目标距离为所述第一目标子图和所述第二目标子图的中心点距离，所述目标角度为所述第一目标子图和所述第二目标子图中心点连线与竖直方向的夹角； 根据所述目标距离、所述目标角度和所述第一聚焦参数获取第二聚焦参数； 所述根据所述目标距离、目标角度和所述第一聚焦参数获取第二聚焦参数，包括： 获取目标系数，根据所述目标系数获取目标函数； 根据目标函数获取所述第二聚焦参数； 其中，所述目标函数为： ； 其中，V为所述第二聚焦参数，I为所述第一聚焦参数，L为所述目标距离，为所述目标角度，、、、、、、、、、为目标系数。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南方科技大学;深圳国际量子研究院，其通讯地址为：518055 广东省深圳市南山区桃源街道学苑大道1088号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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