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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种反射式双光束干涉曝光系统的像差调控方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117192914B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311186275.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种反射式双光束干涉曝光系统的像差调控方法是由曹红超;晋云霞;赵成强;邵建达;张益彬;孔钒宇;王云坤;汪瑞设计研发完成，并于2023-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种反射式双光束干涉曝光系统的像差调控方法在说明书摘要公布了：一种反射式双光束干涉曝光系统的像差调控方法，包括：构建反射式双光束干涉曝光系统，将激光器输出的光束分为两束强度相同的双光束，并形成干涉曝光场；构建像差调控系统，利用球面干涉仪分别对双光束光路的像差进行测试和记录，并利用可变形反射镜对双光束中任一路光束的波前进行调控，使其与另一路光束的像差相匹配，完成干涉曝光场像差的调控。本发明解决了基于大口径离轴抛物面反射镜的反射式双光束干涉曝光系统精密装调、波前像差控制等难题，为米量级大口径、低像差衍射光栅的制备提供了新的解决方案。

本发明授权一种反射式双光束干涉曝光系统的像差调控方法在权利要求书中公布了：1.一种反射式双光束干涉曝光系统的像差调控方法，其特征在于，包括： 构建反射式双光束干涉曝光系统，将激光器输出的光束分为两束强度相同的双光束，并形成干涉曝光场；具体包括：沿连续紫外激光器1输出的紫外激光束传输方向放置第一半波片2和偏振分束棱镜3，紫外激光束经第一半波片2透射后，经过偏振分束棱镜3分为双光束，即透射光束和反射光束；沿所述透射光束传输方向依次放置第一反射镜4、第二半波片5、第二反射镜8、第一聚焦物镜9、第一空间滤波器10和右光路离轴抛物面反射镜12；沿所述反射光束传输方向依次放置第四反射镜18、第三反射镜17、第二聚焦物镜16、第二空间滤波器15和左光路离轴抛物面反射镜14；转动调整所述第一半波片2和第二半波片5，使所述双光束的强度相同，并分别经各自的反射镜、聚焦物镜、空间滤波器和离轴抛物面反射镜后，在标准平面反射镜13处汇聚形成干涉曝光场； 构建像差调控系统，利用球面干涉仪分别对双光束光路的像差进行测试和记录，并利用可变形反射镜对双光束中任一路光束的波前进行调控，使其与另一路光束的像差相匹配，完成干涉曝光场像差的调控，具体是： 步骤1反射式双光束干涉曝光左光路调节及波前测试： 步骤1.1计算双光束入射在所述标准平面反射镜13汇聚的夹角2θ，公式如下： sinθ=λ2Λ 式中，Λ为待制备光栅的周期，λ为连续紫外激光器输出紫外激光束的波长； 步骤1.2将标准平面反射镜13放到双光束干涉重叠的位置，将球面干涉仪6放入所述反射光束的光路中，且位于左光路离轴抛物面反射镜14的焦点处，该球面干涉仪6与计算机7相连； 步骤1.3移除第二聚焦物镜16、第二空间滤波器15，打开球面干涉仪6，取掉其前端的聚焦物镜，使球面干涉仪出射的平行细光束入射到左光路离轴抛物面反射镜14的中心，经该左光路离轴抛物面反射镜14反射后入射到放置在干涉曝光位置的标准平面反射镜13中心，调整标准平面反射镜13使反射光再沿原路返回进入球面干涉仪6，即形成自准直光路； 步骤1.4安装球面干涉仪6前端的聚焦物镜，反复调整标准平面反射镜13、左光路离轴抛物面反射镜14、球面干涉仪6的空间相对位置，使球面干涉仪测出的返回光波前像差最小； 步骤1.5固定球面干涉仪6、左光路离轴抛物面反射镜14和标准平面反射镜13，将第二空间滤波器15安装到球面干涉仪6的焦点处，调节第二空间滤波器15的空间位置，使球面干涉仪6发出的点光源能无阻碍穿过该第二空间滤波器15，固定第二空间滤波器15，利用计算机记录当前球面干涉仪测得的返回光波前分布φlx,y； 步骤1.6移除球面干涉仪6，打开连续紫外激光器，调整第四反射镜18和第三反射镜17，使反射光入射到第二空间滤波器15的中心位置，安装第二聚焦物镜16，不断微调第四反射镜18、第三反射镜17和第二聚焦物镜16，使聚焦光束完全通过第二空间滤波器15，至此完成左光路的调节以及左光束19的波前像差测试； 步骤2反射式双光束干涉曝光右光路调节及波前调控： 步骤2.1将所述标准平面反射镜13逆时针旋转2θ度，使其面向右光路离轴抛物面反射镜12，并固定所述标准平面反射镜13； 步骤2.2移除第二反射镜8、第一聚焦物镜9、第一空间滤波器10，安装可变形反射镜11和球面干涉仪6，且所述可变形反射镜11和球面干涉仪6分别与计算机7相连，通过计算机7对可变形反射镜11的镜面位置进行初始化； 步骤2.3打开球面干涉仪6，取掉其前端的聚焦物镜，调整右光路离轴抛物面反射镜12、可变形反射镜11以及球面干涉仪6的空间位置，使球面干涉仪6发出的平行细激光束沿自准直光路重新返回到球面干涉仪6； 步骤2.4重新安装球面干涉仪6前端的聚焦物镜，反复调整右光路离轴抛物面反射镜12、可变形反射镜11以及球面干涉仪6的空间相对位置，使球面干涉仪6测出的返回光波前像差最小； 步骤2.5将第一空间滤波器10插入到球面干涉仪6发出的点光源附近，调节第一空间滤波器10的位置，使球面干涉仪6发出的点光源能无阻碍通过，固定右光路空间滤波器10的位置不变； 步骤2.6调节可变形反射镜11的镜面变形函数hx,y，使球面干涉仪6测得的右光路返回光束20的波前分布φrx,y与左光路光束19的波前分布函数φlx,y在空间上的分布尽可能相同，即minφrx,y-φlx,y，与此同时记录下可变形反射镜11的镜面变形函数hx,y； 步骤2.7移除球面干涉仪6，安装第二反射镜8，使反射的连续紫外激光束入射到第一空间滤波器10的中心位置，安装第一聚焦物镜9，微调第二反射镜8、第一聚焦物镜9的空间位置，使聚焦光束完全通过第一空间滤波器针孔，至此完成右光路的调节。

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