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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利大口径光学元件表面纳米级缺陷并行扫描检测装置与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117269169B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311193323.2，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权大口径光学元件表面纳米级缺陷并行扫描检测装置与方法是由曹红超;晋云霞;汪瑞;王云坤;赵成强;胡晨;张益彬;孔钒宇设计研发完成，并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本大口径光学元件表面纳米级缺陷并行扫描检测装置与方法在说明书摘要公布了：一种大口径光学元件表面纳米级缺陷并行扫描检测装置，包括：单频紫外激光器，用于产生检测激光束；达曼分束光栅，用于将单频紫外激光器发出的激光束分束，产生强度分布均匀的检测子光束；多焦点空间滤波系统，将各检测子光束聚焦后进行空间滤波，滤除高频杂散光，形成“干净”的检测子光束；扫描检测系统，用于对被检测光学元件进行扫描并记录表面缺陷及其空间分布。通过控制扫描反射镜、CCD相机转台的扫描速度实现大口径光学元件表面缺陷的快速检测。本发明采用紫外相干激光光源并结合并行光束扫描技术，解决了大口径光学元件表面纳米级缺陷高分辨快速检测难题，为超光滑大口径光学元件的加工检测提供了技术支撑。

本发明授权大口径光学元件表面纳米级缺陷并行扫描检测装置与方法在权利要求书中公布了：1.一种大口径光学元件表面纳米级缺陷并行扫描检测装置，包括： 单频紫外激光器，用于产生检测光学元件表面的紫外相干激光源； 达曼分束光栅，用于将所述紫外相干激光源分束，产生强度分布均匀的检测子光束； 多焦点空间滤波系统，用于对所述检测子光束聚焦与空间滤波，滤除高频杂散光，形成检测子光束； 扫描检测系统，用于对待检测光学元件进行扫描并记录表面缺陷及其空间分布； 其特征在于，所述多焦点空间滤波系统包括聚焦物镜3和多焦点空间滤波器4，所述扫描检测系统包括第一旋转台6、安装在该第一旋转台6上的扫描反射镜5、由N个成像物镜组成的成像物镜组、由N个CCD相机构成的CCD相机组，供N个CCD相机放置的N个旋转台组成的旋转台组，以及旋转台控制器17和计算机18；所述旋转台控制器17分别连接N个旋转台和计算机18； 所述达曼分束光栅2安装在所述单频紫外激光器1的前端，使单频紫外激光器1输出的激光束垂直入射到达曼分束光栅2的中心位置，并分束形成1×N的子激光束阵列；沿所述1×N的激光束传输方向依次是所述聚焦物镜3、多焦点空间滤波器4、扫描反射镜5、待检测光学元件、成像物镜组和CCD相机组；调整多焦点空间滤波器4的空间位置，确保多焦点空间滤波器4的针孔位于聚焦物镜3的后焦面，且聚焦后的1×N子束焦点穿过针孔； 调整所述第一旋转台6，使所述1×N的子激光束阵列照射到待检测光学元件7的有效边缘位置，利用计算机18记录当前第一旋转台6的位置； 调整所述成像物镜组和CCD相机组的位置使其同轴，利用计算机18记录下当前N个旋转台的位置； 利用计算机18控制所述第一旋转台6以角速度对待检测光学元件7进行扫描，与此同时控制N个旋转台以角速度2旋转，追踪记录经待检测光学元件7反射的光强及其位置信息，对光学元件表面缺陷对强度的调制数据分析即可获取表面缺陷信息，完成光学元件表面缺陷检测。

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