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龙图腾网获悉捷造科技(宁波)有限公司申请的专利一种快速抽真空的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117344281B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311341801.X，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权一种快速抽真空的方法是由张迎春;刘洁雅设计研发完成，并于2023-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种快速抽真空的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种快速抽真空的方法，包括：步骤一，提供一真空腔室，在所述真空腔室下方两侧设置有慢抽阀，中间位置设置有主抽阀，所述主抽阀与所述慢抽阀通过真空管道相互并联，阀门上端与真空腔室相连接，并联管道的下端与排气泵组相连接；步骤二，将一组或多组匀气板设置于所述真空腔室的排气口与载板之间；步骤三，将码满基片的载板被传输滚轮传入到真空室内，首先打开两侧的慢抽阀，载板上方及下方的气体通过所述匀气板被第一次排走，当真空腔室内气体稀释后，关闭慢抽阀，打开主抽阀，载板上方及下方被稀释的气体通过匀气板汇集到主抽阀排气口进行第二次排空。本发明的优点是：为光伏生产线提供了稳定、均匀的排气结构。

本发明授权一种快速抽真空的方法在权利要求书中公布了：1.一种快速抽真空的方法，其特征在于，包括：步骤一，提供一真空腔室，在所述真空腔室下方两侧设置有慢抽阀，中间位置设置有主抽阀，所述主抽阀与所述慢抽阀通过真空管道相互并联，阀门上端与真空腔室相连接，并联管道的下端与排气泵组相连接；步骤二，将多组匀气板设置于所述真空腔室的排气口与载板之间，所述匀气板用于使所述载板上方与下方的压强保持一致；步骤三，将码满基片的载板被传输滚轮传入到真空室内，首先打开两侧的慢抽阀，载板上方及下方的气体通过所述匀气板被第一次排走，当真空腔室内气体稀释后，关闭慢抽阀，打开主抽阀，载板上方及下方被稀释的气体通过匀气板汇集到主抽阀排气口进行第二次排空； 所述匀气板由上板及四周侧板组成，所述匀气板的下方通过螺钉固定在所述真空腔室内下底板上； 所述匀气板为矩形盒状或多边形盒状或多棱球盒状； 所述慢抽阀设置在位于匀气板的侧板内部空间的下方位置，所述主抽阀设置在位于匀气板的侧板外部的真空腔室中央通道的下方位置； 所述上板上设置有均匀密集的小孔； 所述四周侧板上分布有均匀的长形孔。

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