广州市尤特新材料有限公司周志宏获国家专利权
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龙图腾网获悉广州市尤特新材料有限公司申请的专利一种氧化钼靶材的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118495948B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410596793.1,技术领域涉及:C04B35/495;该发明授权一种氧化钼靶材的制备方法是由周志宏;杨永添;刘青雄设计研发完成,并于2024-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氧化钼靶材的制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于靶材制备方法,具体公开一种氧化钼靶材的制备方法,包括以下步骤:1将摩尔比1.4‑1.7:1:0.4‑0.8的MoO2、Mo4O11和Mo9O26混合,得到混合粉末,将混合粉末、粘结剂和乙醇球磨混合均匀,喷雾干燥得到球形粉体,热处理后,过筛,得到混合粉体;2将混合粉体在马弗炉内进行二次补氧,得到补氧后的混合粉体;3将补氧后的混合粉体压制成坯料;4将坯料烘干后,装入包套中抽真空焊封,然后进行热等静压处理,除去包套后得到氧化钼靶材粗品;5将氧化钼靶材粗品进行机械加工和清洗,得到氧化钼靶材。本发明提供了一种高纯度、高密度的氧化钼靶材。
本发明授权一种氧化钼靶材的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种氧化钼靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 1将摩尔比1.4-1.7:1:0.4-0.8的MoO2、Mo4O11和Mo9O26混合,得到混合粉末,将混合粉末、粘结剂和乙醇球磨混合均匀,喷雾干燥得到球形粉体,以4-6℃min的升温速率升温至600℃-650℃恒温3h-4h,过筛,得到混合粉体;混合粉体的粒径为40μm-60μm; 2将混合粉体在马弗炉内进行二次补氧,马弗炉内温度为450℃-500℃,补氧处理时间为30min-50min,得到补氧后的混合粉体; 3将补氧后的混合粉体压制成坯料,具体为:将补氧后的混合粉体装入模具进行模压处理,所述模压处理的压强为60MPa-100MPa,时间为100s-200s,得到坯料; 4将坯料烘干后,装入包套中抽真空焊封,然后进行热等静压处理,除去包套后得到氧化钼靶材粗品;热等静压处理的温度为500℃-600℃,压强为50MPa-100MPa,时间为100min-200min; 5将氧化钼靶材粗品进行机械加工和清洗,得到氧化钼靶材,其质量纯度≥99.95%,致密度≥99.2%; 所述粘结剂为聚乙烯醇;所述聚乙烯醇为质量比2-3:1:0.2-0.5的Mw13000-23000的聚乙烯醇、Mw9000-10000的聚乙烯醇和Mw146000-186000的聚乙烯醇复配;粘结剂用量为混合粉末质量的1-1.4%。
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